Example of VA / VE proposals

CERAMICS DESIGN LAB > 大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案

大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案

  • Problems
    大型偏光フィルムの吸着
    Suction Marks
    Yield
  • Proposed Effect
    Deformation Reduction
    Improved Productivity(Improved Throughput)
    Suction Mark Reduction
    ワークの傷防止
  • Product Type
    Porous Chuck

Customer's concerns and problems / Before

機能性フィルムなどを取り扱う化学メーカーのお客様より、「偏光フィルムの製造工程において、大型の偏光フィルムを吸着したいので、大型の多孔質チャックを提案していただけないでしょうか?」ということで、多孔質チャックの製作実績が豊富な当社にお問い合わせがありました。

Our proposals and improvement effects / After

そこで、「セラミックスデザインラボ」では、フィルムを均一に吸着でき、傷や吸着痕を抑制できる吸着部500角の大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)をご提案いたしました。特注製作事例はこちら→


 


その結果、大型の偏光フィルムを吸着することができ、フィルムの変形・傷・吸着痕の防止につながり、歩留まり向上を実現いたしました。

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Point of the proposed example / Point

本事例のポイントは、偏光フィルムを均一に吸着保持でき、接触による傷や吸着痕を抑制できた点にあります。


多孔質セラミックスAZP60は、気孔径が5~40 μmと小さく、フィルムや薄いワークの吸着に適しています。フラットな面で均一にワークを吸着するため、ワークの変形が起きにくいです。


「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。大型ワークの吸着についてお困りの方やワークの傷や吸着痕についてお困りの方は、お気軽にご相談ください。


 

Integrated response from processing to development of ceramic materials !

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Examples of VA/VE proposals
for designers and developers

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Part Replacement Time

薄ウェハ

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  • Sparking Prevention
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  • Improved Productivity
  • Misalignment Prevention
  • Reduced Defect Rate
  • Improved Productivity(Improved Throughput)
  • Wear Resistance
  • Contact Damage Reduction
  • Yield Improvement
  • Man-Hour Reduction
  • Surface Resistance Control
  • Wear Prevention
  • Particle Control
  • Suction Mark Reduction
  • Outgassing Reduction
  • Deformation Reduction
  • Improved Plasma Resistance
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  • ワークの傷防止
  • Contamination Measures
  • Cost Reduction

Improved Functionality

Improved Productivity(Improved Throughput)

Man-Hour Reduction

Cost Reduction

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Wafer Transfer End Effector / Handling Arm

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