6インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）

こちらは、6インチ用の吸着タイプの当社オリジナルの搬送ハンドです。6インチ用ですが、3インチ、4インチ、5インチのウエハを吸着することもできます。当社のマシニングセンターを使用して、ウエハ保持部の面粗度をRa0.8に仕上げました。吸着用の長穴は、空洞部に通じるザグリ穴で、幅13深さ1.35になります。吸引ポートは、Φ4の空洞部に通じる貫通穴を1カ所施しました。ロボットへの取り付け部は、Φ4の貫通穴4カ所です。「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッター、反りウエハなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。