For fine ceramic products such as Transfer End Effector / Handling Arm and Porous Chuck
made in Japan
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精密セラミックボール(炭化ケイ素SiC3N)
Industry: Semiconductor,Industrial machinery,Other
Material: High Purity Silicon Carbide
高耐熱性4~8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド(UniZac-air®)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,アニール工程,エピタキシャル工程,CVD工程,洗浄工程
Material: High Purity Silicon Carbide
UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド(12インチ用)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
Material: High Purity Alumina
ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,Optical equipment
Material: High Purity Alumina
反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ(UniZac-Pair)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,Industrial machinery
Material: High Purity Alumina
12インチウエハ搬送用 トレイ式軽量化ハンド(UniZac-Obon®)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
Material: High Purity Alumina
Φ200×t 0.5 SiCダミーウエハ(反り量0.5 mm)【常圧焼結品/多結晶体】
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程,バックグラインド工程
Material: High Purity Silicon Carbide
500角吸着用 大型多孔質チャック(多孔質AZP60、本体アルミ)
Industry: Semiconductor,Optical equipment,Chemistry・Material,Film,Other
Material: Porous Ceramics
4~8インチ反りウエハ対応ロボット搬送ハンド(UniZac-air®)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment
Material: High Purity Alumina
Φ330アルミナ空洞一体プレート
Industry: Semiconductor,Ceramics firing jig,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
Material: High Purity Alumina
UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)
Industry: Semiconductor,Robots ・ Equipment
Material: High Purity Alumina
ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック
Industry: Semiconductor,ボンディング工程
Material: SiC(Silicon Carbide)
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