★NEW 両面吸着多孔質チャック(本体:アルシーマ、多孔質:表面AZP60、裏面AZPS40)
산업: 반도체,로봇·장치,광학 장비
재질: アルシーマL,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
パワー半導体向けSiC製ウエハ
산업: 반도체
재질: 고순도 SiC
★NEW 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック(多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ)
산업: 반도체,산업 기계,영화
재질: ブラックアルミナ,다공성 세라믹(포러스 세라믹)
4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®)
산업: 반도체,광학 장비
재질: 고순도 알루미나
드라이 에칭용 SiC제 웨이퍼 트레이(자그리 홀 타입)
산업: 반도체
재질: SiC(탄화규소)
드라이 에칭용 알루미나제 웨이퍼 트레이(관통 구멍 타입)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
광도파로 연구용 SiC제 웨이퍼 트레이
산업: 반도체
재질: SiC(탄화규소)
웨이퍼 프로버 장치용 반송 핸드(흡착·베르누이 일체형)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
웨이퍼 프로버 장치용 반송 핸드(흡착·베르누이 일체형, 두께 2.4t)
산업: 반도체
재질: 고순도 알루미나
8인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(PeriZac®)
산업: 반도체,광학 장비
재질: 고순도 알루미나
12인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(PeriZac®)
산업: 반도체,광학 장비
재질: 고순도 알루미나
8인치 웨이퍼 흡착용 로봇 반송 핸드(PeriZac®, 근본 설치 지그 있음)
산업: 반도체,광학 장비
재질: 고순도 알루미나