다공성 척

초박형 웨이퍼나 필름을 손상 없이 흡착할 수 있는 다공질 세라믹제의 흡착 척

이와 같은 문제가 있습니까?

다공성 척|세라믹스 디자인 라보
  • 필름이나 웨이퍼, 종이, 가죽, 부품을 흡착시키고 싶지만, 어떠한 종류의 다공질을 선택해 좋을지 모르는・・・

  • 여과 필터·가스 필터·정수 촉매로서 다공질을 검토하고 싶다···

  • 탈지성이 높고 통기성이 좋은 세터를 찾고 있습니다.

저희가 도와드리겠습니다!

알루미나, SiC 뿐만 아니라 다공성 세라믹 및 특수 세라믹 개발까지 통합 지원 내열성과 전기전도도가 뛰어난!

웨이퍼 이송과 같은 다양한 산업, 용도 및 형상의 생산 실적이 입증되었습니다.엔드 이펙터/핸들링 암, 진공 척, 대형 보드 및 파이어링 세터!

세라믹 재료의 특성과 반도체 및 전자 산업 고유의 문제점을 잘 알고 있기 때문에 가능한 고객에게 VA/VE에 대한 제안을 제공합니다!

급하신 분들은 전화주세요!

TEL+81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

이 사이트 "도자기디자인연구소"는 파인세라믹사업부에서 운영하고 있습니다.
ASUZAC Corporation은 1946년에 설립된 그룹으로
800 명 이상으로 구성됩니다.

당사의 "다공성 척"의 특징

  • 다공성 척|세라믹스 디자인 라보

    극박의 웨이퍼나 필름을 오목이나 데미지 없이 흡착할 수 있는 다공질 세라믹제의 흡착 척

    다공질 척은 휨이나 변형이 있는 워크를 흡착·반송할 수 있고, 또한 미세 구멍이기 때문에 워크에 흡착흔이 붙기 어려운 사양으로 되어 있습니다. 종래에는, 미세 구멍을 열어 얇은 워크를 흡착하고 있었습니다만, 약간의 요철이 워크에 데미지를 주고 불량의 원인이 되고 있었습니다.

    그러나, 다공질 척이면 왜곡이나 상처를 대폭 저감할 수 있기 때문에, 웨이퍼나 필름의 수율 향상으로 이어집니다.

    또한 양면 흡착이 가능한 것 외에도 응답성이 높고 작업성 향상에도 이어집니다.

"다공성 척"의 사례 및 성과

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"다공성 척"에 대한 자주 묻는 질문

  • 다공성 척 데모 기계의 대출은 가능합니다. 대여 라인업이 있으므로 자세한 내용은 아래 링크를 참조하십시오. 사용 용도에 따라 제안하겠습니다 때문에 문의하십시오.


    >>다공질 척의 데모 기계 신청은 이쪽

  • 재질에 따라 제작 사이즈는 다릅니다만, 최대 제작 실적으로서는 AZP60으로 다공질 사이즈 500×500×10 mm가 있습니다.

세라믹 디자인 실험실
선택되는 4가지 이유

  • 세라믹의 재료 개발부터 설계·제작까지 일관 대응

    세라믹의 재료 개발에서
    설계·제작까지 일관 대응

    당사는 알루미나, 탄화규소(SiC), 지르코니아, 다공질 세라믹스 등 다양한 파인 세라믹스 제품의 제조 실적이 있습니다. 또, 파인 세라믹스 재료의 종류·특성에 정통하고 있고, 또한 반도체·전자 부품 등에서 사용되는 제품의 사용 환경·용도도 숙지하고 있기 때문에, 최적인 재료 제안이 가능합니다. 원료의 조합·조립, 및 재료의 성형을 실시하는 설비·장치를 내제화하고 있는 당사는, 단열성 세라믹스, 도전성 세라믹스, 저반사의 블랙 알루미나, 고순도 세라믹스 등의 특수 재료 개발에도 임해 따라서 고객의 문제 해결에 기여할 수 있습니다. 원료의 조정으로부터, 형상 설계 및 설계 제안, 그린 가공·소성, 소성 후의 머시닝 가공·NC 선반 가공·연삭 가공·연마, 그리고 마무리에 대해서는 표면 처리·조립, 납품 전의 검사·평가까지 모두를 원스 상단에서 대응하고 있습니다. 이 “일관 제조 체제”는 당사의 우수한 기술자·품질 관리 부문과 고성능의 설비군에 의해 지원되고 있습니다.
  • 국내 디바이스 메이커를 위한 풍부한 납품 실적

    반도체 파운드리, 전자 디바이스 제조업체
    장비 제조업체를 위한 풍부한 납품 실적

    당사는 수년 동안 국내외 반도체 파운드리, 전자 디바이스 제조업체 및 장비 제조업체에 세라믹 제품을 공급해 왔습니다. 실리콘 웨이퍼·필름 등 얇은 워크의 반송 핸드나 흡착 척을 비롯하여, 웨이퍼 트레이, 프린트 기판, 진공 챔버용의 실드 부품 등 다양한 형상·용도·재질의 세라믹스 제품의 설계·제작 실적이 있습니다.
  • 40년 이상의 역사에 뒷받침된 VA·VE 제안의 노하우

    40년 이상의 역사에 뒷받침된
    VA · VE 제안의 노하우

    반도체·전자 부품의 제조 프로세스·반송 프로세스에서는, 파티클의 발생, 오염(오염)에 의한 수율 저하, 위치 어긋남에 의한 웨이퍼 표면의 손상, 아웃 가스(가스 방출) 등, 업계·제품 특유의 트러블이 있습니다.
    당사에서는 이러한 문제나 원인의 조사 검토, 또한 고객의 곤란을 해결하기 위한 VA・VE 기술 제안을 적극적으로 실시하고 있습니다. 코스트 다운이나 리드 타임 단축, 부품 교환의 공수 삭감, 반송 핸드의 기능성 향상 등 고객의 요구에 부응합니다.
  • 1점물의 시작부터 양산까지 수탁

    1점물의 시작부터
    양산까지 수탁

    당사는, 소량 다품종 생산을 자랑하고 있어, 단품·소롯트의 프로토타입으로부터 100개 이상의 롯트 양산까지 유연한 대응이 가능합니다. 시작 시에는 고객의 요구에 따라 제품 용도와 사용 환경을 고려한 재질 제안이나 설계 제안을 실시합니다. 코스트나 리드 타임, 정밀도의 편차 등 양산성을 평가한 후 양산으로 이행하기 때문에, 납품 후·운용 개시 후의 수정·재작성을 회피할 수 있습니다.

운영회사 정보

회 사 명 아스작 주식회사
사업부명 미세 세라믹 사업부
사업부 설립 1981년 10월
위치 본사 〒〒382-8508 나가노현 가미타카이군 다카야마무라 대자 나카야마 981
공장 다카야마 공장
영업소 본사・도쿄・오사카・큐슈
TEL +81-26-248-1626
FAX +81-26-251-2160
메일 fcerainf@asuzac.co.jp
사업내용 세라믹의 개발·제조·가공·판매

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