VA/VE 제안 예시

세라믹스 디자인 라보 > 양면 흡착 다공질 척의 제안

양면 흡착 다공질 척의 제안

  • 문제
    제품 교환 공수
    막힘
    비용
  • 제안 효과
    생산성 향상(처리량 향상)
    공수 절감
    비용 절감
    기능성 향상
  • 상품 유형
    다공성 척

고객의 고민과 고민 / 비포

고객으로부터 1개의 다공질 척에, 백업용의 다공질이 설치되어 있는 것은 없을까 상담을 받았습니다.

현재 사용되고 있는 다공질 척은 막혔을 때는 세척이나 교환이 되어, 수고와 비용이 들고 있었습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

표면은 AZP60의 다공질, 이면은, AZPS40의 다공질이 된, 표면과 이면의 양쪽이 사용할 수 있는 다공질 척을 제안했습니다.

고객님께 사용해 주신 결과, 편면의 다공질이 막혔을 때에는, 이면도 사용할 수 있다고 평가해 주셨습니다.

척 교환의 수고가 실질 1/2이 되어 생산성 향상에 연결되었습니다.

  • 양면 흡착 다공질 척의 제안|세라믹스 디자인 라보
  • 양면 흡착 다공질 척의 제안|세라믹스 디자인 라보
  • 양면 흡착 다공질 척의 제안|세라믹스 디자인 라보
  • 양면 흡착 다공질 척의 제안|세라믹스 디자인 라보
  • 양면 흡착 다공질 척의 제안|세라믹스 디자인 라보

제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는 기존 설비의 구성을 일절 바꾸지 않고 세정이나 교환의 수고 반감을 도모할 수 있다는 것입니다.

관례상 다공질 척의 흡착면은 한쪽만이지만 실제로는 양면을 흡착할 수 있는 사양으로 제작 가능합니다. 양면에서의 흡착이 가능하게 됨으로써, 메인터넌스 빈도의 삭감이나 반송 대상의 확대 등, 유연한 대응이 가능해집니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

기존의 다공질 척에 대해 곤란한 일이 있으면, 부담없이 상담해 주세요.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
  • 소성용 세터
  • 다공성 척
  • 알루미나 커버
  • PAD
  • 기타

웨이퍼 반송 핸드

CONTACT

견적 및 문의는 전화/
FAX 또는 우편으로 가능합니다.

TEL. +81-26-248-1626

FAX. +81-26-251-2160