VA/VE 제안 예시

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PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안

  • 문제
    웨이퍼 상처
    웨이퍼 붙이
    위치 어긋남
    접촉 피해
  • 제안 효과
    웨이퍼의 상처 방지
    위치 어긋남 방지
    접촉 피해 억제
    수율 향상
  • 상품 유형
    웨이퍼 반송 핸드PAD

고객의 고민과 고민 / 비포

수지제 PAD를 사용할 때, 웨이퍼가 PAD에 붙어 버려, 웨이퍼를 놓을 때에 위치 어긋남이나 웨이퍼에 상처가 생겨 버리는 문제가 있었습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

PAD 부품에 표면 처리를 실시해, PAD가 웨이퍼에 붙어 어려워지도록 가공을 실시했습니다. 위치 어긋남이나 상처 방지에도 연결되었습니다.


아스작에서는 세라믹의 가공 뿐만이 아니라, 고객의 요망에 응할 수 있도록 부품의 선정이나 처리등도 가능한 한 대응하겠습니다.

  • PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안|세라믹스 디자인 라보
  • PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안|세라믹스 디자인 라보

제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는, 부품의 표면 처리를 실시하는 것으로 부품 재질이나 형상을 바꾸는 일 없이, 새로운 특성을 부가하는 것이 가능합니다.



아스작은 재료 개발, 코팅 개발에 주력하고 있으며, 모재나 부품 형상을 바꾸지 않고 부품에 새로운 특성을 부가할 수 있습니다. 특히 정전기 대책이나 오염 방지에 효과적인 접근입니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

기존 PAD에 대해 어려움이 있으시면 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
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  • 오염
  • 마모
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  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
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  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
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  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
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  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
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