VA/VE 제안 예시

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고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안

  • 문제
    내열성
    정전기
    표면저항값
  • 제안 효과
    기능성 향상
    정전기 대책
    표면 저항값 제어
  • 상품 유형
    웨이퍼 반송 핸드

고객의 고민과 고민 / 비포

반도체 제조 장치 메이커의 고객으로부터, 「500~800℃의 사용 환경에 견딜 수 있고, 또한 충분한 정전기 확산 효과를 가지는 웨이퍼 반송 핸드는 제작 가능합니까?」라고 하는 상담이 있었습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

거기서 「세라믹스디자인랩」에서는, 고온하에서도 표면저항값이 낮고 정전기 확산 효과가 뛰어난, 당사 독자적인 코팅”ADC막”을 베푼 웨이퍼 반송 핸드를 제안했습니다.


그 결과, 500~800℃의 고온 환경하에서도 도전성을 떨어뜨리지 않고 사용할 수 있었습니다.

  • 고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안|세라믹스 디자인 라보
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제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는, 특수한 코팅에 의해, 고온하에서도 표면 저항값이 낮고 정전기 확산 효과가 높은 웨이퍼 반송 핸드를 실현한 점에 있습니다. 「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사가 개발한 독자 코팅 기술인 ADC막은, 고온 환경하에서도 표면 저항값이 낮은 채이므로 충분한 정전기 확산성을 확보할 수 있습니다.



「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

보풀이나 불순물의 부착에 의한 불량의 발생에 곤란한 분은, 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
  • 소성용 세터
  • 다공성 척
  • 알루미나 커버
  • PAD
  • 기타

웨이퍼 반송 핸드

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