VA/VE 제안 예시

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금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안

  • 문제
    파티클
    발진
    내약품성
    제품 수명
    오염
  • 제안 효과
    내약품성 향상
    생산성 향상(처리량 향상)
    공수 절감
    긴 수명화
    금속 오염 방지
    파티클 대책
  • 상품 유형
    기타

고객의 고민과 고민 / 비포

반도체 제조 장치 메이커의 고객으로부터, 「기존의 수지 부품을 내열성・내약품성이 높은 소재로 변경하고 싶다」라고 하는 것으로, 세라믹 재료 개발도 실시하는 당사에 상담해 주셨습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

그래서 「세라믹스 디자인 랩」에서는, 수지 부품을 SiC(탄화규소)로 치환했습니다.


그 결과, 내열성·내약품성이 향상되어 긴 수명화에도 연결되었습니다.


또한 SiC 표면에 독자적인 특수 처리나 정밀 세정을 실시함으로써 기존 SiC의 과제였던 금속 오염 대책이나 파티클 대책이 가능해졌습니다.

  • 금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안|세라믹스 디자인 라보

제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는, 수지로부터 세라믹스로의 재질 변경을 실시하는 것으로, 필요한 내열성·내약품성을 확보한 점에 있습니다.

또한 SiC는 금속 오염이 문제가 될 수 있지만 특수 표면 처리로 대책하고 있기 때문에 불량을 줄일 수 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발로부터, 설계・제작, 표면 처리・검사・세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

수지・금속에서 세라믹으로의 재질 변경을 검토하시는 분, 수지의 내열성・강도나 금속의 내약품성・내식성에 곤란한 분은 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

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  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
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  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

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