운송 핸드・다공질 척등의 파인세라믹스 제품이라면
made in Japan
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알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류： 알루미나 커버
제안 효과： 공수 절감,비용 절감,생산성 향상
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상
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