알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류: 알루미나 커버
제안 효과: 공수 절감,비용 절감,생산성 향상
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과: 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상,내마모성
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상
1개로 웨이퍼와 부품의 흡착을 할 수 있는 양면 흡착 반송 핸드의 제안
제품 종류: 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과: 공수 절감,비용 절감,기능성 향상,생산성 향상