2023.11.01
ウエハ搬送ハンド
搬送ハンドの困りごとを解決～搬送ハンドの選定～
どのようなウエハ搬送ハンドを選定してよいか、お困りではありませんか。 この技術コラムでは、当社オリジナルの搬送ハンドの選...
VA・VE제안 사례
디바이스 메이커를 비롯한 다양한 업계의 고객에게 제공해 온 세라믹 파츠를 소개합니다.
- 어려움이 있는 부분에서 검색
- 제안 효과에서 검색
- 제품종류에서 검색
- 왜곡
- 비용
- 파티클
- 전도성
- 흡착흔
- 정전기
- 휨 웨이퍼
- 생산성(처리량)
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- 스파크
- 웨이퍼 상처
- 제품 교환 공수
- 아웃 가스
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- 내 플라즈마
- 수율
- 접촉 피해
- 제품 수명
- 발진
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- 내열성
- 오염
- 마모
- 기능성
- 내약품성
- 내식성
- 薄ウェハ
비용
파티클
전도성
흡착흔
정전기
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2022.12.05정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
-
2022.12.05웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
-
2022.12.05웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상정전기 대책표면 저항값 제어아웃 가스 억제
-
2022.12.05코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 오염 방지정전기 대책스파클링 방지불량률 감소
휨 웨이퍼
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
-
2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
-
2023.03.07Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
-
2022.12.05휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
생산성(처리량)
웨이퍼 상처
-
2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
-
2022.12.05휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
-
2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
-
2023.08.08
★NEW パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지흡착흔 억제
제품 교환 공수
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2022.12.051개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
-
2022.12.05알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류： 알루미나 커버
제안 효과： 공수 절감비용 절감생산성 향상
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
-
2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
-
2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
아웃 가스
웨이퍼 붙이
통기성
위치 어긋남
접촉 피해
제품 수명
발진
내열성
오염
마모
기능성
내약품성
薄ウェハ
- 準備中です
- 금속 오염 방지
- 내마모성 향상
- 기능성 향상
- 웨이퍼의 상처 방지
- 정전기 대책
- 내열성 향상
- 휴대성
- 휨 웨이퍼 대책
- 스파클링 방지
- 내약품성 향상
- 생산성 향상
- 위치 어긋남 방지
- 불량률 감소
- 생산성 향상(처리량 향상)
- 내마모성
- 접촉 피해 억제
- 수율 향상
- 공수 절감
- 표면 저항값 제어
- 마모 방지
- 파티클 대책
- 흡착흔 억제
- 아웃 가스 억제
- 왜곡 억제
- 플라즈마 내성 향상
- 긴 수명화
- 오염 방지
- 비용 절감
금속 오염 방지
내마모성 향상
기능성 향상
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
-
2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
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2022.12.05휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상휴대성
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05
워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류： 소성용 세터
제안 효과： 접촉 피해 억제기능성 향상불량률 감소수율 향상
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2022.12.05
고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
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2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
웨이퍼의 상처 방지
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
-
2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
-
2023.08.08
★NEW パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지흡착흔 억제
정전기 대책
-
2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
-
2022.12.05
고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 있어서의 정전기 대책·아웃 가스 대책
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상정전기 대책표면 저항값 제어아웃 가스 억제
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2022.12.05
코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 오염 방지정전기 대책스파클링 방지불량률 감소
내열성 향상
휨 웨이퍼 대책
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
-
2022.12.05
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
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2022.12.05
휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
내약품성 향상
생산성 향상
위치 어긋남 방지
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
-
2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
-
2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
불량률 감소
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
-
2022.12.05
워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류： 소성용 세터
제안 효과： 접촉 피해 억제기능성 향상불량률 감소수율 향상
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2022.12.05
마스크의 세라믹화 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 왜곡 억제비용 절감불량률 감소
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2022.12.05
코팅 변경으로 인한 정전기 확산 핸드의 불량률 감소
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 오염 방지정전기 대책스파클링 방지불량률 감소
생산성 향상(처리량 향상)
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2022.12.05
금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 내약품성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감긴 수명화금속 오염 방지파티클 대책
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
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2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
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2022.12.05
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
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2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
내마모성
접촉 피해 억제
수율 향상
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2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
-
2022.12.05
워크에의 영향이 작고, 통기성이 양호한 다공질 세터의 제안
제품 종류： 소성용 세터
제안 효과： 접촉 피해 억제기능성 향상불량률 감소수율 향상
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2022.12.05
휨·박 웨이퍼 반송용 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책흡착흔 억제수율 향상파티클 대책
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2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
공수 절감
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2022.12.05
금속 오염 방지가 가능한 특수 처리 제품 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 내약품성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감긴 수명화금속 오염 방지파티클 대책
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
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2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
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2022.12.05
알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류： 알루미나 커버
제안 효과： 공수 절감비용 절감생산성 향상
-
2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
-
2022.12.05흡착 핸드의 공동 일체화 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상공수 절감긴 수명화비용 절감아웃 가스 억제
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2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
표면 저항값 제어
파티클 대책
흡착흔 억제
아웃 가스 억제
긴 수명화
오염 방지
비용 절감
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
-
2022.12.05
알루미나 보호 커버로 CVD 장치 히터 부품 교체 빈도 감소
제품 종류： 알루미나 커버
제안 효과： 공수 절감비용 절감생산성 향상
-
2022.12.05
마모로 곤란한 수지 제품을 세라믹화로 해결 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내마모성 향상생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감
-
2022.12.05
마스크의 세라믹화 제안
제품 종류： 기타
제안 효과： 왜곡 억제비용 절감불량률 감소
-
2022.12.05
흡착 핸드의 공동 일체화 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 내열성 향상공수 절감긴 수명화비용 절감아웃 가스 억제
-
2022.12.05
양면 흡착 다공질 척의 제안
제품 종류： 다공성 척
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)공수 절감비용 절감기능성 향상
- 웨이퍼 반송 핸드
- 소성용 세터
- 다공성 척
- 알루미나 커버
- PAD
- 기타
웨이퍼 반송 핸드
-
2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
-
2022.12.05
금속으로부터 도전성 세라믹으로의 웨이퍼 반송 핸드의 재질 변경에 의한 접촉 데미지의 저감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 접촉 피해 억제마모 방지오염 방지
-
2022.12.05
휨 웨이퍼의 유지가 가능 위치 어긋남 대책이 가능한, 베르누이 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상수율 향상
-
2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책위치 어긋남 방지기능성 향상
-
2022.12.05
휴대용 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상휴대성
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2022.12.05
1개로 웨이퍼의 흡착과 부상을 구분할 수 있는 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
-
2022.12.05
고온 하에서도 정전기 확산 효과가 뛰어난 웨이퍼 반송 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 기능성 향상정전기 대책표면 저항값 제어
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드에 센서 조립 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드
제안 효과： 생산성 향상(처리량 향상)기능성 향상
PAD
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2022.12.05
정전기 대책 PAD 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지휨 웨이퍼 대책정전기 대책불량률 감소
-
2022.12.05
웨이퍼 반송 핸드 유지부를 PAD로 개조함으로써 비용 절감
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 공수 절감비용 절감기능성 향상생산성 향상내마모성
-
2022.12.05
휨 웨이퍼를 흡착 반송할 수 있는 PAD 부착 핸드의 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 휨 웨이퍼 대책생산성 향상(처리량 향상)
-
2022.12.05
PAD 표면 처리에 의한 웨이퍼 붙이 트러블 방지 제안
제품 종류： 웨이퍼 반송 핸드PAD
제안 효과： 웨이퍼의 상처 방지위치 어긋남 방지접촉 피해 억제수율 향상
상품・서비스
타사에는 흉내낼 수 없는, 당사의 독자 기술을 구사해 제작한 세라믹스 파츠로, 고객의 고민을 해결하겠습니다.
특수제작 제품 사례
디바이스 메이커를 비롯한 다양한 업계의 고객에게 제공해 온 세라믹 파츠를 소개합니다.
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4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）
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反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair）
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センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
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★NEW 両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40）
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パワー半導体向けSiC製ウエハ
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★NEW 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）
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はんだ付け用アルシーマ治具
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ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品（アルシーマ）
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4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®）
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드라이 에칭용 SiC제 웨이퍼 트레이(자그리 홀 타입)
