2024.02.15
ウエハ搬送ハンド
厚さ1.2 mmの空洞一体型搬送ハンド「UniZac-air®」の技術コラム
反ったウエハを搬送する際、カセットに接触し、ウエハが破損したことはありませんか。当社の UniZac-air® ... ...
設計提案案例
介紹我們為包括設備製造商在內的各個行業的客戶提供的陶瓷零件。
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- 變形
- 成本
- 粒子
- 電導率
- 吸痕
- 靜電
- 翹曲的晶圓
- 生產率（吞吐量）
- 雜質
- 火花
- 晶圓划痕
- 產品更換工時
- 放氣
- 表面電阻
- 晶圓貼合
- 反射率
- 透氣性
- 棉絨的附著力
- 錯位
- 堵塞
- 抗等離子
- 成品率
- 接觸損壞
- 產品壽命
- 粉塵產生
- 不良率
- 耐熱
- 污染
- 磨耗
- 功能性
- 耐化學性
- 耐腐蝕性能
- 薄ウェハ
成本
粒子
電導率
吸痕
靜電
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2022.12.05靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
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2022.12.05通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
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2022.12.05高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
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2022.12.05晶圓搬運手的靜電和放氣對策
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐熱性靜電對策表面電阻值控制抑制放氣
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2022.12.05塗層變化降低靜電擴散手不良率
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 污染措施靜電對策防電火花減少不良率
翹曲的晶圓
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2022.12.05
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
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2023.03.07Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
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2022.12.05
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
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2022.12.05可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓翹曲對策提高生產率（提高吞吐量）
生產率（吞吐量）
晶圓划痕
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2022.12.05
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
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2022.12.05翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策吸附疤痕抑制提高產量粒子測量
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2022.12.05
通過PAD表面處理防止晶圓粘附問題的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防防止錯位抑制接觸損傷提高產量
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2023.08.08
★NEW パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓劃傷預防吸附疤痕抑制
產品更換工時
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2022.12.05可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
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2022.12.05
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
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2022.12.05氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別： 氧化鋁蓋
按提案成果： 減少工時降低成本提高生產力
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2022.12.05
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
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2022.12.05提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
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2022.12.05
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
晶圓貼合
透氣性
錯位
接觸損壞
產品壽命
粉塵產生
耐熱
磨耗
功能性
薄ウェハ
- 準備中です
- 金屬污染對策
- 提高耐磨性
- 改進的功能
- 晶圓劃傷預防
- 靜電對策
- 提高耐熱性
- 可移植性
- 晶圓翹曲對策
- 防電火花
- 提高耐化學性
- 提高生產力
- 防止錯位
- 減少不良率
- 提高生產率（提高吞吐量）
- 耐磨性
- 抑制接觸損傷
- 提高產量
- 減少工時
- 表面電阻值控制
- 磨損保護
- 粒子測量
- 吸附疤痕抑制
- 抑制放氣
- 應變抑制
- 改善等離子抗性
- 長壽
- 污染措施
- 降低成本
提高耐磨性
改進的功能
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
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2022.12.05
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
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2022.12.05便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能可移植性
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2022.12.05
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
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2022.12.05
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
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2022.12.05
對工件的影響小且透氣性好的多孔定位器的提案
按產品類別： 燒結用陶瓷墊板
按提案成果： 抑制接觸損傷改進的功能減少不良率提高產量
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2022.12.05
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
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2022.12.05
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
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2022.12.05
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
晶圓劃傷預防
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2022.12.05
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
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2022.12.05
翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策吸附疤痕抑制提高產量粒子測量
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2022.12.05
通過PAD表面處理防止晶圓粘附問題的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防防止錯位抑制接觸損傷提高產量
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2023.08.08
★NEW パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓劃傷預防吸附疤痕抑制
靜電對策
提高耐熱性
晶圓翹曲對策
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2022.12.05
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
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2022.12.05
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
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2022.12.05
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓翹曲對策提高生產率（提高吞吐量）
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2022.12.05
翹曲/薄晶圓移送手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策吸附疤痕抑制提高產量粒子測量
提高生產力
防止錯位
減少不良率
提高生產率（提高吞吐量）
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2022.12.05
可防止金屬污染的特殊處理產品提案
按產品類別： 其他
按提案成果： 提高耐化學性提高生產率（提高吞吐量）減少工時長壽金屬污染對策粒子測量
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2022.12.05
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
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2022.12.05
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
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2022.12.05
可吸附搬運翹曲晶圓的帶PAD手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓翹曲對策提高生產率（提高吞吐量）
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2022.12.05
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
抑制接觸損傷
提高產量
減少工時
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2022.12.05
可防止金屬污染的特殊處理產品提案
按產品類別： 其他
按提案成果： 提高耐化學性提高生產率（提高吞吐量）減少工時長壽金屬污染對策粒子測量
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2022.12.05
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
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2022.12.05
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
-
2022.12.05
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別： 氧化鋁蓋
按提案成果： 減少工時降低成本提高生產力
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2022.12.05
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
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2022.12.05吸手腔一體化方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐熱性減少工時長壽降低成本抑制放氣
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2022.12.05
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
表面電阻值控制
粒子測量
吸附疤痕抑制
抑制放氣
長壽
污染措施
降低成本
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2022.12.05
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
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2022.12.05
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
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2022.12.05
氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率
按產品類別： 氧化鋁蓋
按提案成果： 減少工時降低成本提高生產力
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2022.12.05
提出陶瓷耐磨樹脂製品的解決方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐磨性提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本
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2022.12.05
陶瓷成膜提案
按產品類別： 其他
按提案成果： 應變抑制降低成本減少不良率
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2022.12.05
吸手腔一體化方案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高耐熱性減少工時長壽降低成本抑制放氣
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2022.12.05
雙面吸附多孔吸盤提案
按產品類別： 多孔卡盤
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）減少工時降低成本改進的功能
- 晶圓傳送手
- 燒結用陶瓷墊板
- 多孔卡盤
- 氧化鋁蓋
- PAD
- 其他
晶圓傳送手
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2022.12.05
靜電對策的PAD提案
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 晶圓劃傷預防晶圓翹曲對策靜電對策減少不良率
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2022.12.05
通過將晶圓傳送手的材料從金屬更改為導電陶瓷來減少接觸損壞
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 抑制接觸損傷磨損保護污染措施
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2023.03.07
Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能
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2022.12.05
可夾持翹曲晶圓並防止錯位的伯努利手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 晶圓翹曲對策防止錯位改進的功能提高產量
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2022.12.05
便攜式晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能可移植性
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2022.12.05
可單手吸附和漂浮晶圓的傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力
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2022.12.05
通過將晶圓傳送手持部分改造為 PAD 來降低成本
按產品類別： 晶圓傳送手PAD
按提案成果： 減少工時降低成本改進的功能提高生產力耐磨性
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2022.12.05
高溫下靜電擴散效果優異的晶圓搬運手提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 改進的功能靜電對策表面電阻值控制
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2022.12.05
將傳感器安裝到晶圓傳送手的提案
按產品類別： 晶圓傳送手
按提案成果： 提高生產率（提高吞吐量）改進的功能
PAD
製作案例
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