我正在考慮轉手,但我不知道該選擇什麼樣的手...
我想檢查傳送手的位置精度、重複精度和耐用性...
我們希望您能推薦多孔卡盤和手形...
LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)
分類: 浮動標準指標(伯努利法)
用法: 用於晶圓輸送(用於空氣)
材料: 高純氧化鋁
材料:
可以運輸翹曲的晶圓
能夠運輸薄晶圓
四個外部導軌可實現晶圓固定
可反向操作
UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
分類: 吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
材料:
耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド
分類: 外周3mm吸着式標準ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
材料:
ウエハ外周3mm以内での吸着が可能
ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用
薄型化が可能