原創產品

2023.10.17

NEW! LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

分類: 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

用法: ウエハ搬送用(大気用)

材料: 高純度アルミナ

特徵: 薄型のため、狭いカセットピッチへの搬送が可能
4～8インチの薄反りウエハの搬送が可能
8箇所のガイドでウエハの保持が可能

2023.09.25

NEW! センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ

分類: 多孔質埋め込みハンド

用法: ウエハ搬送用(大気用)

材料: 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素

特徵: ・センサー取り付けの溝付き
・薄反りウエハが吸着できる
・ウエハに吸着痕がつきにくい

2023.09.14

NEW! 両面吸着多孔質チャック

分類: 多孔質チャック

用法: 吸着

材料: 多孔質セラミックス,アルシーマ

特徵: 両面同時に吸着が可能
バックアップ用
固定用治具として利用可能

2023.08.08

多孔質セラミックスAZPV60

分類: 多孔質セラミックス

用法: セッターフィルター吸着

材料: 多孔質セラミックス

特徵: 通気率向上
ワーク変形の防止
高い応答性

2023.04.21

LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)

分類: 浮動標準指標（伯努利法）

用法: 用於晶圓輸送（用於空氣）

材料: 高純度アルミナ

特徵: 可以運輸翹曲的晶圓
能夠運輸薄晶圓
四個外部導軌可實現晶圓固定
可反向操作

2023.07.13

UniZac-Obon® (ユニザックオボン)　トレイ式標準ハンド

分類: トレイ式標準ハンド

用法: ウエハ搬送（大気用・真空用）

材料: 高純度アルミナ,炭化ケイ素,コルシード

特徵: 高耐熱性
高強度
薄型化

2023.04.24

PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド

分類: 外周3mm吸着式標準ハンド

用法: ウエハ搬送用(大気用)

材料: 高純度アルミナ

特徵: ウエハ外周3mm以内での吸着が可能
ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用　　　
薄型化が可能

2023.05.31

UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド

分類: 吸着ハンド

用法: ウエハ搬送用(大気用)

材料: 高純度アルミナ

特徵: 耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用

2023.06.14

UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド

分類: 吸着ハンド

用法: ウエハ搬送用(大気用)

材料: 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素

特徵: ・薄ウエハに対して、平滑面で吸着可
・吸着痕が付きづらい
・薄く柔軟性のある反りウエハの吸着可