我正在考慮轉手,但我不知道該選擇什麼樣的手...
我想檢查傳送手的位置精度、重複精度和耐用性...
我們希望您能推薦多孔卡盤和手形...
NEW! LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
分類: 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵:
薄型のため、狭いカセットピッチへの搬送が可能
4~8インチの薄反りウエハの搬送が可能
8箇所のガイドでウエハの保持が可能
NEW! センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
分類: 多孔質埋め込みハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 吸着部:多孔質セラミックス、本体:高純度アルミナ、炭化ケイ素
特徵:
・センサー取り付けの溝付き
・薄反りウエハが吸着できる
・ウエハに吸着痕がつきにくい
NEW! 両面吸着多孔質チャック
分類: 多孔質チャック
用法: 吸着
材料: 多孔質セラミックス,アルシーマ
特徵:
両面同時に吸着が可能
バックアップ用
固定用治具として利用可能
多孔質セラミックスAZPV60
分類: 多孔質セラミックス
用法: セッターフィルター吸着
材料: 多孔質セラミックス
特徵:
通気率向上
ワーク変形の防止
高い応答性
LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)
分類: 浮動標準指標(伯努利法)
用法: 用於晶圓輸送(用於空氣)
材料: 高純度アルミナ
特徵:
可以運輸翹曲的晶圓
能夠運輸薄晶圓
四個外部導軌可實現晶圓固定
可反向操作
UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド
分類: トレイ式標準ハンド
用法: ウエハ搬送(大気用・真空用)
材料: 高純度アルミナ,炭化ケイ素,コルシード
特徵:
高耐熱性
高強度
薄型化
PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド
分類: 外周3mm吸着式標準ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵:
ウエハ外周3mm以内での吸着が可能
ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用
薄型化が可能
UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
分類: 吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵:
耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
UniZac-Pair(ユニザックペア)多孔質埋め込みハンド
分類: 吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 吸着部:多孔質セラミックス、本体:高純度アルミナ、炭化ケイ素
特徵:
・薄ウエハに対して、平滑面で吸着可
・吸着痕が付きづらい
・薄く柔軟性のある反りウエハの吸着可