有沒有這樣的問題？
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我正在考慮轉手，但我不知道該選擇什麼樣的手...
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我想檢查傳送手的位置精度、重複精度和耐用性...
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我們希望您能推薦多孔卡盤和手形...
原始產品列表
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2024.07.23NEW! UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）
分類: センサー溝付き搬送ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵: ・空洞内部にセンサー溝がある
・表面が吸着面、裏面にセンサー溝の
挿入口がある
・接着剤不使用の完全一体型のため
耐熱性がある
・貼り合わせ部品が剥がれる恐れがない -
2024.07.02NEW! 試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）
分類: トレイ式標準ハンド
用法: ウエハ搬送（大気用・真空用）
材料: 高純度アルミナ
特徵: ・高耐熱性
・軽量化
・たわみが少ない -
2024.05.22NEW! 反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）
分類: 吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵: ・先端2箇所に段差を設けた
空洞一体型ハンド
・薄型化
・接着剤不使用 -
2024.03.11
NEW! UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）
分類: 両面吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵: ・空路が2段の空洞一体型ハンド
・両面吸着可能
・接着剤不使用 -
2024.02.15NEW! UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）
分類: 吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵: ・空洞一体型ハンド
・カセット内でのウエハの接触防止
・4～8インチのウエハに対応可能 -
2023.10.17
NEW! LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
分類: 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵: I型かつ薄型のため、狭いカセットピッチへのウエハ搬送が可能
4～8インチの薄反りウエハの搬送が可能
複数のガイドでウエハの保持が可能
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2023.09.25
センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
分類: 多孔質埋め込みハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素
特徵: ・センサー取り付けの溝付き
・薄反りウエハが吸着できる
・ウエハに吸着痕がつきにくい -
2023.09.14
両面吸着多孔質チャック
分類: 多孔質チャック
用法: 吸着
材料: 多孔質セラミックス,アルシーマ
特徵: 両面同時に吸着が可能
バックアップ用
固定用治具として利用可能 -
2023.08.08
多孔質セラミックスAZPV60
分類: 多孔質セラミックス
用法: セッターフィルター吸着
材料: 多孔質セラミックス
特徵: 通気率向上
ワーク変形の防止
高い応答性 -
2023.07.13
UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド
分類: トレイ式標準ハンド
用法: ウエハ搬送（大気用・真空用）
材料: 高純度アルミナ,炭化ケイ素,コルシード
特徵: 高耐熱性
高強度
薄型化
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2023.04.21LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)
分類: 浮動標準指標（伯努利法）
用法: 用於晶圓輸送（用於空氣）
材料: 高純度アルミナ
特徵: 可以運輸翹曲的晶圓
能夠運輸薄晶圓
四個外部導軌可實現晶圓固定
可反向操作 -
2023.04.24
PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド
分類: 外周3mm吸着式標準ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ
特徵: ウエハ外周3mm以内での吸着が可能
ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用
薄型化が可能 -
2023.05.31
UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
分類: 吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 高純度アルミナ,炭化ケイ素
特徵: 耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
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2023.06.14
UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド
分類: 吸着ハンド
用法: ウエハ搬送用(大気用)
材料: 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素
特徵: ・薄ウエハに対して、平滑面で吸着可
・吸着痕が付きづらい
・薄く柔軟性のある反りウエハの吸着可
