| 產品名稱 | 試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®） |
|---|---|
| 分類 | トレイ式標準ハンド |
| 用法 | ウエハ搬送（大気用・真空用） |
| 材料 | 高純度アルミナ |
| 特徵 |
・高耐熱性 ・軽量化 ・たわみが少ない |
| 尺寸 | 12インチ：外形354×200 mm、厚み4 mm |
本產品的特點
トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）は、内部に空洞を設け、軽量化を実現した当社オリジナルのハンドです。大気と真空の両方の環境で使用が可能です。従来のUniZac-Obonに比べて、25 ％たわみが少ないことが特徴です。この製品は、試作品となります。
"試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"的特點
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・高耐熱性
・軽量化
・たわみが少ない
"試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"的形狀
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右図は、12インチのトレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）の外観形状と側面図です。
内部に10箇所の空洞部を設けました。
※画像をクリックすると、拡大できます。
"試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"實例及成果
"試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）"常見問題解答
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できます。12インチ以外にも、3～8インチの形状に対応ができます。詳しくはお問い合わせください。
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解析結果から、12インチのシリコンウエハを乗せた場合のたわみ量は、0.408 mmです。詳しくは技術コラムをご覧ください。技術コラムはこちら→
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解析結果から、12インチのシリコンウエハを乗せた場合の応力は、6.15 MPaです。詳しくは技術コラムをご覧ください。技術コラムはこちら→
