產品名稱 | UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド |
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分類 | トレイ式標準ハンド |
用法 | ウエハ搬送(大気用・真空用) |
材料 |
高純度アルミナ 炭化ケイ素 コルシード |
特徵 |
高耐熱性 高強度 薄型化 |
尺寸 |
12インチ:外形354×200 mm、厚み4 mm 8インチ:外形285×140 mm、厚み3 mm |
本產品的特點
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"的特點
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・高耐熱性
・薄型化
・軽量化
・たわみが少ない
・耐久性が向上
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"的形狀
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図1は、12インチのUniZac-Obon® の外観形状です。取付穴は、ご希望の位置やサイズで製作可能です。
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図2は、8インチのUniZac-Obon® の外観形状です。取付穴は、ご希望の位置やサイズで製作可能です。
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"實例及成果
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"下載圖
UniZac-Obon 8寸
(UniZac-托盤 8寸)
- 交貨期短
- 提高耐久性
- 托盤類型
- 耐熱性
- 對於大氣
- 真空用
- 偏轉
- 高強度
- 輕的
實現減重瘦身
UniZac-Obon 12寸
(UniZac-托盤 12寸)
- 交貨期短
- 提高耐久性
- 托盤類型
- 耐熱性
- 對於大氣
- 真空用
- 偏轉
- 高強度
- 輕的
實現減重瘦身
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"視頻
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トレイ式標準ハンド(UniZac-Obon®)12インチの搬送動画
12インチ トレイ式標準ハンド(UniZac-Obon®)のウエハ搬送動画です。ハンドは、ウエハ底面の外周と側面の一部でウエハを保持する形状です。金属のハンドに比べて、たわみが少なく、軽量です。大気と真空の両方の環境で使用ができます。
"UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド"常見問題解答
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兼用ハンドの製作はできます。8インチ・6インチ用、6インチ・4インチ用の兼用ハンドの製作も可能です。
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製作は可能です。2~12インチサイズのUniZac-Obon®の製作が可能です。
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反転搬送ができません。UniZac-Obon® は、トレイ式のため、水平搬送に適しています。反転搬送ができるハンドは、UniZac-air®、PeriZac®、LeviZac®になります。
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できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
金属のハンドに比べて、たわみが少ないことが特徴です。アルミナ、炭化ケイ素、コルシードの素材で製作が可能です。薄型化に対応でき、軽量化を実現しました。空洞一体品に比べて、製作期間は短いです。