| 產品名稱 | UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用） |
|---|---|
| 分類 | 吸着ハンド |
| 用法 | ウエハ搬送用(大気用) |
| 材料 | 高純度アルミナ |
| 特徵 |
・空洞一体型ハンド ・カセット内でのウエハの接触防止 ・4～8インチのウエハに対応可能 |
| 尺寸 |
外形158×74 mm、厚み1.2 mm |
本產品的特點
"UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）"的特點
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・空洞一体型
・厚み1.2 mm
・高耐熱性
"UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）"的形狀
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図1は、UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）の外形図と側面図です。
段差がなく、フラットな形状です。先端2箇所の長穴でウエハを吸着します。
※画像をクリックすると、拡大できます。
"UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）"實例及成果
"UniZac-air® (ユニザックエア) 厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）"常見問題解答
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技術コラムのページに、厚み0.5 mm、反り1 mm6インチSiCウエハーを搬送した場合のクリアランス量をご紹介しています。詳しくは技術コラムをご覧ください。詳細はこちら→
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可能です。
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可能です。ハンドの吸着面を下向きにし、ワークの上面を吸着して、水平姿勢で搬送ができます。また、反転動作が可能です。
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デモ機の貸し出しは可能です。貸し出し期間は、約2週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→
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設計は可能でございますが、現状製作可能サイズは、160×70×1.2 [mm]までとなります。さらに大きなサイズは開発中となります。貴社ハンドに適用要望がある場合、弊社にて設計対応いたしますのでお気軽にご相談ください。詳細はこちら→
