搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
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主な材質
アルミナSiC多孔質その他
工程
搬送チャックフィルタその他
機能
吸着非接触フィルタその他
サイズ
〜88〜12複数その他
環境
大気真空液中その他
例 セラミックス、セッター、多孔質セラミックス
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