2024.07.03
ウエハ搬送ハンド
試作品UniZac-Obon®の軽量化品のご紹介
試作品のオリジナルハンドUniZac-Obon®について、内部に空洞部を複数設けることで、約10 %の軽量化に成功しまし...
搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
VA・VE提案事例
デバイスメーカーをはじめとする様々な業界のお客様に
ご提供してきたセラミックスパーツをご紹介いたします。
- お困りごと
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- 大型偏光フィルムの吸着
- 薄ウェハ
- パーティクル
- 吸着痕
- 反りウエハ
- 不純物
- ウエハの傷
- アウトガス
- ウエハの張り付き
- 通気性
- 位置ズレ
- 耐プラズマ
- 接触ダメージ
- 発塵
- 耐熱性
- 摩耗
- 耐薬品性
- 歪み
- 導電性
- 静電気
- 生産性（スループット）
- スパーク
- 製品の交換工数
- 表面抵抗値
- 反射率
- 糸くず付着
- 目詰まり
- 歩留まり
- 製品寿命
- 不良率
- コンタミ
- 機能性
- 耐食性
- コスト
大型偏光フィルムの吸着
パーティクル
吸着痕
反りウエハ
-
2022.12.05静電気対策のPAD提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策静電気対策不良率低減
-
2022.12.05
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止歩留まり向上機能性向上
-
2023.03.07薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止機能性向上
-
2022.12.05反りウェハを吸着搬送できるPAD付きハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 反りウエハ対策生産性向上（スループット向上）
ウエハの傷
-
2022.12.05
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止歩留まり向上機能性向上
-
2022.12.05反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策歩留まり向上パーティクル対策吸着痕抑制
-
2022.12.05
PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止位置ズレ防止接触ダメージ抑制歩留まり向上
-
2023.08.08
パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： ウエハの傷防止吸着痕抑制
ウエハの張り付き
通気性
位置ズレ
接触ダメージ
発塵
耐熱性
摩耗
耐薬品性
導電性
静電気
-
2022.12.05
静電気対策のPAD提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策静電気対策不良率低減
-
2022.12.05ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上耐摩耗性
-
2022.12.05高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 静電気対策機能性向上表面抵抗値制御
-
2022.12.05ウエハ搬送ハンドにおける静電気対策・アウトガス対策
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 静電気対策アウトガス抑制耐熱性向上表面抵抗値制御
-
2022.12.05コーティング変更による静電気拡散ハンドの不良率低減
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： コンタミ対策静電気対策スパークリング防止不良率低減
生産性（スループット）
製品の交換工数
-
2022.12.051本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上耐摩耗性
-
2022.12.05アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減
製品種類： アルミナカバー
提案効果： 工数削減コストダウン生産性向上
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 生産性向上（スループット向上）機能性向上
-
2022.12.05摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 耐摩耗性向上生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン
-
2022.12.05
両面吸着多孔質チャックのご提案
製品種類： 多孔質チャック
提案効果： 生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン機能性向上
歩留まり
製品寿命
コンタミ
機能性
- 耐摩耗性向上
- ウエハの傷防止
- 耐熱性向上
- 反りウエハ対策
- 耐薬品性向上
- 位置ズレ防止
- 生産性向上（スループット向上）
- 接触ダメージ抑制
- 工数削減
- 摩耗防止
- 吸着痕抑制
- 歪み抑制
- 長寿命化
- コンタミ対策
- コストダウン
- メタルコンタミ対策
- 機能性向上
- 静電気対策
- 可搬性
- スパークリング防止
- 生産性向上
- 不良率低減
- 耐摩耗性
- 歩留まり向上
- 表面抵抗値制御
- パーティクル対策
- ワークの傷防止
- アウトガス抑制
- プラズマ耐性向上
耐摩耗性向上
ウエハの傷防止
-
2022.12.05
静電気対策のPAD提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策静電気対策不良率低減
-
2022.12.05
反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策歩留まり向上パーティクル対策吸着痕抑制
-
2022.12.05
PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止位置ズレ防止接触ダメージ抑制歩留まり向上
-
2023.08.08
パワー半導体向け薄反りウエハの保持・吸着が可能な多孔質埋め込みハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： ウエハの傷防止吸着痕抑制
耐熱性向上
反りウエハ対策
-
2022.12.05
静電気対策のPAD提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策静電気対策不良率低減
-
2022.12.05
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止歩留まり向上機能性向上
-
2023.03.07
薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止機能性向上
-
2022.12.05
反りウェハを吸着搬送できるPAD付きハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 反りウエハ対策生産性向上（スループット向上）
-
2022.12.05
反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策歩留まり向上パーティクル対策吸着痕抑制
耐薬品性向上
位置ズレ防止
生産性向上（スループット向上）
-
2022.12.05
メタルコンタミ対策ができる特殊処理製品のご提案
製品種類： その他
提案効果： メタルコンタミ対策パーティクル対策耐薬品性向上生産性向上（スループット向上）工数削減長寿命化
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 生産性向上（スループット向上）機能性向上
-
2022.12.05
摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 耐摩耗性向上生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン
-
2022.12.05
反りウェハを吸着搬送できるPAD付きハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 反りウエハ対策生産性向上（スループット向上）
-
2022.12.05
両面吸着多孔質チャックのご提案
製品種類： 多孔質チャック
提案効果： 生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン機能性向上
-
2024.06.10大型偏光フィルムの吸着が可能な500角の大型多孔質チャックのご提案
製品種類： 多孔質チャック
提案効果： 歪み抑制生産性向上（スループット向上）吸着痕抑制ワークの傷防止
接触ダメージ抑制
工数削減
-
2022.12.05
メタルコンタミ対策ができる特殊処理製品のご提案
製品種類： その他
提案効果： メタルコンタミ対策パーティクル対策耐薬品性向上生産性向上（スループット向上）工数削減長寿命化
-
2022.12.05
1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上耐摩耗性
-
2022.12.05
アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減
製品種類： アルミナカバー
提案効果： 工数削減コストダウン生産性向上
-
2022.12.05
摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 耐摩耗性向上生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン
-
2022.12.05吸着ハンドの空洞一体化のご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： アウトガス抑制耐熱性向上工数削減長寿命化コストダウン
-
2022.12.05
両面吸着多孔質チャックのご提案
製品種類： 多孔質チャック
提案効果： 生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン機能性向上
吸着痕抑制
歪み抑制
長寿命化
コンタミ対策
コストダウン
-
2022.12.05
1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上耐摩耗性
-
2022.12.05
アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減
製品種類： アルミナカバー
提案効果： 工数削減コストダウン生産性向上
-
2022.12.05
摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 耐摩耗性向上生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン
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2022.12.05
マスクのセラミック化提案
製品種類： その他
提案効果： 歪み抑制不良率低減コストダウン
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2022.12.05
吸着ハンドの空洞一体化のご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： アウトガス抑制耐熱性向上工数削減長寿命化コストダウン
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2022.12.05
両面吸着多孔質チャックのご提案
製品種類： 多孔質チャック
提案効果： 生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン機能性向上
メタルコンタミ対策
機能性向上
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2022.12.05
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止歩留まり向上機能性向上
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2023.03.07
薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止機能性向上
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2022.12.05可搬式ウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 機能性向上可搬性
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2022.12.05
1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上
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2022.12.05
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上耐摩耗性
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2022.12.05
ワークへの影響が小さく、通気性が良好な多孔質セッターのご提案
製品種類： 焼成用セッター
提案効果： 接触ダメージ抑制不良率低減歩留まり向上機能性向上
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2022.12.05
高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 静電気対策機能性向上表面抵抗値制御
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2022.12.05
ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 生産性向上（スループット向上）機能性向上
-
2022.12.05
両面吸着多孔質チャックのご提案
製品種類： 多孔質チャック
提案効果： 生産性向上（スループット向上）工数削減コストダウン機能性向上
静電気対策
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2022.12.05
静電気対策のPAD提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策静電気対策不良率低減
-
2022.12.05
高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 静電気対策機能性向上表面抵抗値制御
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2022.12.05
ウエハ搬送ハンドにおける静電気対策・アウトガス対策
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 静電気対策アウトガス抑制耐熱性向上表面抵抗値制御
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2022.12.05
コーティング変更による静電気拡散ハンドの不良率低減
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： コンタミ対策静電気対策スパークリング防止不良率低減
生産性向上
不良率低減
歩留まり向上
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2022.12.05
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止歩留まり向上機能性向上
-
2022.12.05
ワークへの影響が小さく、通気性が良好な多孔質セッターのご提案
製品種類： 焼成用セッター
提案効果： 接触ダメージ抑制不良率低減歩留まり向上機能性向上
-
2022.12.05
反り・薄ウエハ搬送用ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策歩留まり向上パーティクル対策吸着痕抑制
-
2022.12.05
PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止位置ズレ防止接触ダメージ抑制歩留まり向上
表面抵抗値制御
パーティクル対策
ワークの傷防止
アウトガス抑制
- ウエハ搬送ハンド
- 焼成用セッター
- 多孔質チャック
- アルミナカバー
- PAD
- その他
ウエハ搬送ハンド
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2022.12.05
静電気対策のPAD提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策静電気対策不良率低減
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2022.12.05
金属から導電性セラミックスへのウエハ搬送ハンドの材質変更による接触ダメージの低減
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 接触ダメージ抑制摩耗防止コンタミ対策
-
2022.12.05
反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止歩留まり向上機能性向上
-
2023.03.07
薄ウエハの保持・位置ズレ対策が可能なベルヌーイハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 反りウエハ対策位置ズレ防止機能性向上
-
2022.12.05
可搬式ウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 機能性向上可搬性
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2022.12.05
1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上耐摩耗性
-
2022.12.05
高温下でも静電気拡散効果に優れたウエハ搬送ハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 静電気対策機能性向上表面抵抗値制御
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンドへのセンサー組付けのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンド
提案効果： 生産性向上（スループット向上）機能性向上
多孔質チャック
PAD
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2022.12.05
静電気対策のPAD提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止反りウエハ対策静電気対策不良率低減
-
2022.12.05
ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 工数削減コストダウン機能性向上生産性向上耐摩耗性
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2022.12.05
反りウェハを吸着搬送できるPAD付きハンドのご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： 反りウエハ対策生産性向上（スループット向上）
-
2022.12.05
PAD表面処理によるウエハ張り付きトラブル防止のご提案
製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD
提案効果： ウエハの傷防止位置ズレ防止接触ダメージ抑制歩留まり向上
製品・サービス
他社には真似できない、当社の独自技術を
駆使して製作したセラミックスパーツで、お客様のお悩みを解決いたします。
特注製作事例
デバイスメーカーをはじめとする様々な業界のお客様に
ご提供してきたセラミックスパーツをご紹介いたします。
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高耐熱性12インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド（UniZac-air®）
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6インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
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精密セラミックボール（炭化ケイ素SiC3N）
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高耐熱性4～8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド（UniZac-air®）
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UniZac-air® (ユニザックエア) センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）
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ケガキ線付き4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）
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反りウエハ対応搬送ハンド1点吸着仕様多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair）
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12インチウエハ搬送用 トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）
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Φ200×t 0.5 SiCダミーウエハ（反り量0.5 mm）【常圧焼結品/多結晶体】
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500角吸着用 大型多孔質チャック（多孔質AZP60、本体アルミ）
新着情報
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