VA・VE提案事例

セラミックスデザインラボ > VA・VE提案事例 > 反りウエハ > 反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案

反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案

  • お困りごと
    反りウエハ
    ウエハの傷
    位置ズレ
  • 提案効果
    反りウエハ対策
    位置ズレ防止
    歩留まり向上
    機能性向上
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

半導体・FPD関連装置メーカーのお客様より、「検査・洗浄工程において反ったウエハを搬送する際、吸着不足によりウエハが落下してしまうことがあります。また、ウエハの位置ズレにも困っているですが、何か提案をしていただけないでしょうか?」ということで、搬送ハンドの製作実績が豊富な当社にお問い合わせがありました。

当社からの提案・改善効果/After

そこで「セラミックスデザインラボ」では、反りウエハを安定的に保持でき、ウエハの位置ズレも抑制できる8インチウエハ搬送用のベルヌーイハンドLeviZac®をご提案いたしました。

その結果、吸着不足・バキュームリークによる反りウエハの落下や、位置ズレによるウエハの傷、破損、不良を低減することができ、歩留まり向上を実現いたしました。

  • 反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案|セラミックスデザインラボ
  • 反りウエハの保持ができ位置ズレ対策が可能な、ベルヌーイハンドのご提案|セラミックスデザインラボ

本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、反りウエハを安定して保持し、且つウエハの位置ズレを低減できた点にあります。


反りウエハ用の搬送ハンドを設計する際は、吸着不足・バキュームリーク等の低減を考慮して設計を行う必要があります。




「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

反りウエハの搬送やウエハの位置ズレについてお困りの方は、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

設計開発者のための
VA・VE提案事例一覧

  • お困りごと
    から探す
  • 提案効果
    から探す
  • 製品種類
    から探す
  • 薄ウェハ
  • パーティクル
  • 吸着痕
  • 反りウエハ
  • 不純物
  • ウエハの傷
  • アウトガス
  • ウエハの張り付き
  • 通気性
  • 位置ズレ
  • 耐プラズマ
  • 接触ダメージ
  • 発塵
  • 耐熱性
  • 摩耗
  • 耐薬品性
  • 歪み
  • 導電性
  • 静電気
  • 生産性(スループット)
  • スパーク
  • 製品の交換工数
  • 表面抵抗値
  • 反射率
  • 糸くず付着
  • 目詰まり
  • 歩留まり
  • 製品寿命
  • 不良率
  • コンタミ
  • 機能性
  • 耐食性
  • コスト
  • 耐摩耗性向上
  • ウエハの傷防止
  • 耐熱性向上
  • 反りウエハ対策
  • 耐薬品性向上
  • 位置ズレ防止
  • 生産性向上(スループット向上)
  • 接触ダメージ抑制
  • 工数削減
  • 摩耗防止
  • 吸着痕抑制
  • 歪み抑制
  • 長寿命化
  • コンタミ対策
  • コストダウン
  • メタルコンタミ対策
  • 機能性向上
  • 静電気対策
  • 可搬性
  • スパークリング防止
  • 生産性向上
  • 不良率低減
  • 耐摩耗性
  • 歩留まり向上
  • 表面抵抗値制御
  • パーティクル対策
  • アウトガス抑制
  • プラズマ耐性向上

工数削減

機能性向上

  • ウエハ搬送ハンド
  • 焼成用セッター
  • 多孔質チャック
  • アルミナカバー
  • PAD
  • その他

ウエハ搬送ハンド

CONTACT

お見積り・お問合せは、お電話/FAXまたはメールフォームより承ります。