VA・VE提案事例

アルミナ保護カバーによる、CVD装置ヒーター部品の交換頻度低減

製品種類： アルミナカバー

提案効果： 工数削減,コストダウン,生産性向上

ウエハ搬送ハンド保持部をPADに改造することによるコストダウン

製品種類： ウエハ搬送ハンドPAD

提案効果： 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上,耐摩耗性

1本でウエハの吸着と浮上が使い分けできる搬送ハンドのご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 工数削減,コストダウン,機能性向上,生産性向上

メタルコンタミ対策ができる特殊処理製品のご提案

製品種類： その他

提案効果： メタルコンタミ対策,パーティクル対策,耐薬品性向上,生産性向上（スループット向上）,工数削減,長寿命化

両面吸着多孔質チャックのご提案

製品種類： 多孔質チャック

提案効果： 生産性向上（スループット向上）,工数削減,コストダウン,機能性向上

吸着ハンドの空洞一体化のご提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： アウトガス抑制,耐熱性向上,工数削減,長寿命化,コストダウン

摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案

製品種類： ウエハ搬送ハンド

提案効果： 耐摩耗性向上,生産性向上（スループット向上）,工数削減,コストダウン