VA・VE提案事例

セラミックスデザインラボ > VA・VE提案事例 > 摩耗 > 摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案

摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案

  • お困りごと
    摩耗
    生産性(スループット)
    製品の交換工数
  • 提案効果
    耐摩耗性向上
    生産性向上(スループット向上)
    工数削減
    コストダウン
  • 製品種類
    ウエハ搬送ハンド

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

従来、ウェハ保持部が樹脂仕様のハンドを使用されていましたが、使用していくうちに摩耗してしまうため、頻繁な交換が必要でした。

  • 摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案|セラミックスデザインラボ
  • 摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案|セラミックスデザインラボ
  • 摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案|セラミックスデザインラボ

当社からの提案・改善効果/After

アスザックにてウエハ保持部の樹脂部分もセラミック製にて製作提案を行いました。セラミックスは軽量、高強度であり優れた耐久性を持ちます。ハンドの点検・交換頻度が減り、コストダウンや生産性UPに繋がりました。

  • 摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案|セラミックスデザインラボ
  • 摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案|セラミックスデザインラボ
  • 摩耗でお困りの樹脂製品をセラミックス化で解決提案|セラミックスデザインラボ

本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは樹脂材料からのセラミック化により数倍の長寿命化を図れたことです。

セラミックスの特徴である軽量、高剛性、高強度を活かすことで優れた効果をすることが可能です。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存の樹脂製や金属製ウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
開発まで一貫対応!

お気軽に
ご相談ください!

TEL 026-248-1626

営業時間:9:00~17:00(土日祝休み)

設計開発者のための
VA・VE提案事例一覧

  • お困りごと
    から探す
  • 提案効果
    から探す
  • 製品種類
    から探す
  • 薄ウェハ
  • パーティクル
  • 吸着痕
  • 反りウエハ
  • 不純物
  • ウエハの傷
  • アウトガス
  • ウエハの張り付き
  • 通気性
  • 位置ズレ
  • 耐プラズマ
  • 接触ダメージ
  • 発塵
  • 耐熱性
  • 摩耗
  • 耐薬品性
  • 歪み
  • 導電性
  • 静電気
  • 生産性(スループット)
  • スパーク
  • 製品の交換工数
  • 表面抵抗値
  • 反射率
  • 糸くず付着
  • 目詰まり
  • 歩留まり
  • 製品寿命
  • 不良率
  • コンタミ
  • 機能性
  • 耐食性
  • コスト
  • 耐摩耗性向上
  • ウエハの傷防止
  • 耐熱性向上
  • 反りウエハ対策
  • 耐薬品性向上
  • 位置ズレ防止
  • 生産性向上(スループット向上)
  • 接触ダメージ抑制
  • 工数削減
  • 摩耗防止
  • 吸着痕抑制
  • 歪み抑制
  • 長寿命化
  • コンタミ対策
  • コストダウン
  • メタルコンタミ対策
  • 機能性向上
  • 静電気対策
  • 可搬性
  • スパークリング防止
  • 生産性向上
  • 不良率低減
  • 耐摩耗性
  • 歩留まり向上
  • 表面抵抗値制御
  • パーティクル対策
  • アウトガス抑制
  • プラズマ耐性向上

工数削減

機能性向上

  • ウエハ搬送ハンド
  • 焼成用セッター
  • 多孔質チャック
  • アルミナカバー
  • PAD
  • その他

ウエハ搬送ハンド

CONTACT

お見積り・お問合せは、お電話/FAXまたはメールフォームより承ります。