VA・VE提案事例

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ワークへの影響が小さく、通気性が良好な多孔質セッターのご提案

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  • 提案効果
    接触ダメージ抑制
    不良率低減
    歩留まり向上
    機能性向上
  • 製品種類
    焼成用セッター

お客さまのお悩み・お困りごと/Before

焼成用セッターを使用されている半導体デバイスメーカーのお客様から、「ワークへの影響が小さく、熱処理時にガス抜きができるような通気性の良い素材は無いでしょうか?」ということで、セラミックス素材の開発も行っている当社にご相談いただきました。

当社からの提案・改善効果/After

「セラミックスデザインラボ」では、気孔径が小さく、通気性の良い多孔質素材AZP50をご提案いたしました。

お客様に評価していただいた結果、熱処理時に通気性が向上し、ワークへの影響が抑制されたことを確認できました。

  • ワークへの影響が小さく、通気性が良好な多孔質セッターのご提案|セラミックスデザインラボ
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本提案事例のポイント/Point

本事例のポイントは、焼成用セッターの材質として通気性の良い多孔質素材を選定することにより、ワークへの影響を抑えることができた点です。

残留応力を低減するため、熱処理時のガス抜きは非常に重要になります。「セラミックスデザインラボ」が独自に開発したアルミナ系の多孔質セラミックスAZP50は、気孔率50%で優れた通気性をもつ素材です。当社では、通気性をさらに高め吸着力も向上させたAZP60もご用意しております。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

焼成治具の材料選定についてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。

セラミックス材料の加工から
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