多孔質チャック

当社の「多孔質チャック」の特徴

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  極薄のウエハやフィルムを凹みやダメージなく吸着できる多孔質セラミックス製の吸着チャック

  多孔質チャックは、反りや変形のあるワークを吸着・搬送することができ、且つ微細孔のためワークに吸着痕がつきにくい仕様になっています。従来は、微細孔を開けて薄いワークを吸着していましたが、僅かな凹凸がワークにダメージを与え不良の原因となっていました。
  
  しかし、多孔質チャックであれば歪みや傷を大幅に低減することが可能なため、ウエハやフィルムの歩留まり向上につながります。
  
  また、両面吸着が可能であることに加え、応答性が高く作業性向上にもつながります。

当社の「多孔質チャック」の事例・実績

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  2023.08.08

  ★NEW 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）

  業界： 半導体,産業機械,フィルム

  材質： ブラックアルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）

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  2022.12.05

  両面吸着多孔質チャックのご提案

  製品種類： 多孔質チャック

  提案効果： 生産性向上（スループット向上）,工数削減,コストダウン,機能性向上

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  2022.11.30

  6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052）

  業界： 半導体,産業機械,フィルム

  材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）

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  2022.11.30

  多孔質SiCチャック（本体アルミナ）

  業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関

  材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）

• 多孔質チャックのデモ機を貸してください。

  多孔質チャックのデモ機の貸し出しは可能です。 貸し出しのラインナップがございますので、詳しくは以下のリンクをご覧ください。 ご使用用途に応じてご提案させていただきますので、お問い合わせください。

  
  

  >>多孔質チャックのデモ機申し込みはこちら

  
  
  

  
  

  
  

  
  

• 多孔質チャックは、どのくらいの大きさまで製作ができますか。

  材質によって製作サイズは異なりますが、最大製作実績としてはAZP60で多孔質サイズ500×500×10 mmがございます。

  
  

  
  

  
  

  
  

  
  

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