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ロボットテストセンター

セラミックスデザインラボ > ロボットテストセンター

ロボットテストセンターとは？

  • ロボットテストセンター内の様子
    セラミックスデザインラボでは、ウエハ搬送工程の検証設備である「ロボットテストセンター」を社内に備えており、特注搬送ハンドの試験が可能です。搬送ハンドの位置精度や繰り返し精度、耐久性等を確かめることができ、ユーザー様の特注搬送ハンド製作、調達をサポートいたします。
  • ロボットテストセンター内の様子

    「ロボットテストセンター」では、
    こちらのような試験が実施可能です。

    ◆搬送速度確認

    ◆搬送中の振動確認

    ◆搬送後のウエハのパーティクル測定

    ◆搬送回数に応じたウエハの位置ズレ
    （繰り返し制度）の計測

    ◆ウエハ裏面への傷の付き方の確認

    ◆ウエハ保持部のPADの面粗さ測定

ロボットテストセンターがお客様に提供する価値

困っている女性

  • ライン投入前に、条件を変えて搬送ハンドの性能をテストしておきたい・・・

  • 搬送ハンドで実際にウエハを搬送したら、
    意図しない傷がついてしまった・・・

  • 搬送を繰り返していたら、
    徐々に位置ズレが大きくなってしまった・・・

ロボットテスト
センターでは、特注ハンドで
実際にウエハを搬送して試験・評価することができるため、
納品後・運用開始後の修正・作り直しを回避することができます！

設計開発者のための
VA・VE提案事例一覧

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  • 薄ウェハ
  • パーティクル
  • 吸着痕
  • 反りウエハ
  • 不純物
  • ウエハの傷
  • アウトガス
  • ウエハの張り付き
  • 通気性
  • 位置ズレ
  • 耐プラズマ
  • 接触ダメージ
  • 発塵
  • 耐熱性
  • 摩耗
  • 耐薬品性
  • 歪み
  • 導電性
  • 静電気
  • 生産性（スループット）
  • スパーク
  • 製品の交換工数
  • 表面抵抗値
  • 反射率
  • 糸くず付着
  • 目詰まり
  • 歩留まり
  • 製品寿命
  • 不良率
  • コンタミ
  • 機能性
  • 耐食性
  • コスト

薄ウェハ

パーティクル

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反りウエハ

不純物

ウエハの傷

アウトガス

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接触ダメージ

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耐薬品性

歪み

導電性

静電気

生産性（スループット）

スパーク

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表面抵抗値

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歩留まり

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コスト

  • 耐摩耗性向上
  • ウエハの傷防止
  • 耐熱性向上
  • 反りウエハ対策
  • 耐薬品性向上
  • 位置ズレ防止
  • 生産性向上（スループット向上）
  • 接触ダメージ抑制
  • 工数削減
  • 摩耗防止
  • 吸着痕抑制
  • 歪み抑制
  • 長寿命化
  • コンタミ対策
  • コストダウン
  • メタルコンタミ対策
  • 機能性向上
  • 静電気対策
  • 可搬性
  • スパークリング防止
  • 生産性向上
  • 不良率低減
  • 耐摩耗性
  • 歩留まり向上
  • 表面抵抗値制御
  • パーティクル対策
  • アウトガス抑制
  • プラズマ耐性向上

耐摩耗性向上

ウエハの傷防止

耐熱性向上

反りウエハ対策

耐薬品性向上

位置ズレ防止

生産性向上（スループット向上）

接触ダメージ抑制

工数削減

摩耗防止

吸着痕抑制

歪み抑制

長寿命化

コンタミ対策

コストダウン

メタルコンタミ対策

機能性向上

静電気対策

可搬性

スパークリング防止

生産性向上

不良率低減

耐摩耗性

歩留まり向上

表面抵抗値制御

パーティクル対策

アウトガス抑制

プラズマ耐性向上

  • ウエハ搬送ハンド
  • 焼成用セッター
  • 多孔質チャック
  • アルミナカバー
  • PAD
  • その他

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ロボットテストセンターの画像
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