로봇 테스트 센터

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로봇 테스트 센터란?

  • 로봇 테스트 센터의 모습
    세라믹 디자인 랩에서는, 웨이퍼 반송 공정의 검증 설비인 「로봇 테스트 센터」를 사내에 갖추고 있어, 특주 반송 핸드의 시험이 가능합니다. 반송 핸드의 위치 정밀도나 반복 정밀도, 내구성 등을 확인할 수 있어 유저님의 특주 반송 핸드 제작, 조달을 서포트합니다.
  • 로봇 테스트 센터의 모습

    ‘로봇테스트센터’에서는
    여기와 같은 시험이 실시 가능합니다.

    ◆반송 속도 확인

    ◆반송 중 진동 확인

    ◆반송 후의 웨이퍼의 파티클 측정

    ◆반송 횟수에 따른 웨이퍼의 위치 어긋남
    (반복 제도)의 계측

    ◆웨이퍼 뒷면에 흠집이 생기는 방법 확인

    ◆웨이퍼 유지부의 PAD의 표면 거칠기 측정

로봇 테스트 센터가 고객에게 제공하는 가치

곤란한 여자
  • 라인 투입전에, 조건을 바꾸어 반송 핸드의 성능을 테스트해 두고 싶다・・・

  • 반송 핸드로 실제로 웨이퍼를 반송하면, 의도하지 않은 상처가 붙어 버렸다・・・

  • 반송을 반복하고 있으면, 서서히 위치 어긋남이 커져 버렸다・・・

ロボットテスト
센터에서는, 특주 핸드로 실제로 웨이퍼를 반송해 시험·평가할 수 있기 때문에,
납품 후 · 운용 개시 후의 수정 · 재작성을 회피수 있습니다!

설계 개발자를 위한
VA·VE 제안 사례 일람

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
  • 소성용 세터
  • 다공성 척
  • 알루미나 커버
  • PAD
  • 기타

웨이퍼 반송 핸드

재료 선정·설계에서 제조, 검사·시험까지,
특주 웨이퍼 반송 핸드에 관한 어려움마다
원 스톱으로 대응합니다!

로봇 테스트 센터 이미지
로봇 테스트 센터 이미지

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

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