VA/VE 제안 예시

세라믹스 디자인 라보 > Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers

Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers

  • 문제
    휨 웨이퍼
  • 제안 효과
    휨 웨이퍼 대책
    위치 어긋남 방지
    기능성 향상
  • 상품 유형
    웨이퍼 반송 핸드

고객의 고민과 고민 / 비포

A customer of a semiconductor/inspection equipment manufacturer asked us, “Can you suggest a End Effector that can transfer thin wafers and control wafer misalignment when transferring wafers from a wafer carrier during the wafer inspection process?”
They contacted us because we have lot of experience in manufacturing transfer End Effector !

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

Therefore, in the Ceramic Design Laboratory, we proposed the Bernoulli End Effector LeviZac, which can stably hold thin wafers and suppress wafer misalignment.
This time, I-shaped LeviZac ® was designed and proposed according to the customer’s application.
As a result, we were able to reduce damage to thin wafers due to insufficient wafer retention or vacuum leakage, and wafer scratches, breakage, and defects due to wafer misalignment, thereby improving yield.

  • Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers|세라믹스 디자인 라보
  • Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers|세라믹스 디자인 라보
  • Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers|세라믹스 디자인 라보
  • Proposal for a transport End Effector / Handling Arm that can suck warped wafers|세라믹스 디자인 라보

제안 사례의 포인트 / 포인트

The point of this case is that the thin wafer can be held stably and the misalignment of the wafer can be reduced.
When designing a transfer End Effector for thin wafers, it is necessary to design it considering reduction of suction shortage and vacuum leakage, etc.
Since the wafer is held by eight guides, the thin wafer can be held stably.
In addition, since the misalignment of the wafer can be prevented, there is no effect on the surrounding workpiece due to air leakage.


The Fine Ceramics Division of ASUZAC Corporation, which operates the Ceramic Design Laboratory, handles everything from material development and preparation to design and manufacture, as well as surface treatment, inspection, and cleaning.
We can also offer our own coating-technology for adding functionality to ceramics materials, as well as the selection of materials such as ceramic materials with high heat resistance and conductivity, and high-purity alumina and SiC that are highly pure and prevent contamination.
Contact a Tsubaki representative if you are having trouble transporting thin wafers or misalignment of wafers.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
  • 소성용 세터
  • 다공성 척
  • 알루미나 커버
  • PAD
  • 기타

웨이퍼 반송 핸드

CONTACT

견적 및 문의는 전화/
FAX 또는 우편으로 가능합니다.

TEL. +81-26-248-1626

FAX. +81-26-251-2160