VA/VE 제안 예시

세라믹스 디자인 라보 > 블랙 알루미나 핀으로 재료 변경

블랙 알루미나 핀으로 재료 변경

  • 문제
    내 플라즈마
    내열성
    반사율
  • 제안 효과
    내마모성 향상
    내열성 향상
    플라즈마 내성 향상
  • 상품 유형
    기타

고객의 고민과 고민 / 비포

석영 플레이트 위에 웨이퍼를 올릴 때 그 위치 맞춤용으로 사용하는 검은 핀 부품에 대한 상담입니다.

고온 환경, 750℃의 환경에 있어서, 현행 부품은 소모가 심하기 때문에, 내구성이 높은 세라믹 부품을 찾고 있었습니다.

우리의 제안 및 개선 효과 / 이후

내열성이 높은 블랙 알루미나에서의 부품 제작을 제안했습니다.

블랙 알루미나는, 광원계·현미경·검사 장치용의 부품으로 반사율의 낮음이 요구될 때에 채용되는 재료입니다. 석영에 비해 수명이 길고(플라즈마 내성이 높고), 색채도 양호합니다.

고온 환경하에서도 탈색하지 않고, 마모하지 않는 세라믹 부품으로서 제작, 코스트 다운이 되었습니다.

  • 블랙 알루미나 핀으로 재료 변경|세라믹스 디자인 라보
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제안 사례의 포인트 / 포인트

본 사례의 포인트는 사용 환경에 따른 최적의 소재 선정을 도모한 것입니다.

널리 규격・특성이 알려져 있는 금속 재료와 달리 세라믹스 재료는 메이커마다 특성이 다릅니다. 또한 극단적으로 말하면 사용자, 부품 단위로 재료를 조합하는 것도 가능하기 때문에 필요한 성능에 따라 재료에서 개선을 도모 할 수 있습니다.

「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .

세라믹 부품에 대해 곤란한 일이 있으시면, 부담없이 상담해 주십시오.

세라믹 재료의 가공으로부터 개발까지 일관 대응!

부담없이 상담해 주세요!

TEL +81-26-248-1626

영업시간: 9:00~17:00(토일축일휴무)

디자이너와 개발자를 위한 VA/VE 제안의 예

  • 어려움이 있는 부분에서 검색
  • 제안 효과에서 검색
  • 제품종류에서 검색
  • 왜곡
  • 비용
  • 파티클
  • 전도성
  • 흡착흔
  • 정전기
  • 휨 웨이퍼
  • 생산성(처리량)
  • 불순물
  • 스파크
  • 웨이퍼 상처
  • 제품 교환 공수
  • 아웃 가스
  • 표면저항값
  • 웨이퍼 붙이
  • 반사율
  • 통기성
  • 보풀 부착
  • 위치 어긋남
  • 막힘
  • 내 플라즈마
  • 수율
  • 접촉 피해
  • 제품 수명
  • 발진
  • 불량률
  • 내열성
  • 오염
  • 마모
  • 기능성
  • 내약품성
  • 내식성
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 금속 오염 방지
  • 내마모성 향상
  • 기능성 향상
  • 웨이퍼의 상처 방지
  • 정전기 대책
  • 내열성 향상
  • 휴대성
  • 휨 웨이퍼 대책
  • 스파클링 방지
  • 내약품성 향상
  • 생산성 향상
  • 위치 어긋남 방지
  • 불량률 감소
  • 생산성 향상(처리량 향상)
  • 내마모성
  • 접촉 피해 억제
  • 수율 향상
  • 공수 절감
  • 표면 저항값 제어
  • 마모 방지
  • 파티클 대책
  • 흡착흔 억제
  • 아웃 가스 억제
  • 왜곡 억제
  • 플라즈마 내성 향상
  • 긴 수명화
  • 오염 방지
  • 비용 절감

기능성 향상

  • 웨이퍼 반송 핸드
  • 소성용 세터
  • 다공성 척
  • 알루미나 커버
  • PAD
  • 기타

웨이퍼 반송 핸드

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