이와 같은 문제가 있습니까?
-
반송 핸드를 검토하고 있지만, 어떤 핸드를 선정해도 좋을지 모르겠다.
-
반송 핸드의 위치 정밀도나 반복 정밀도, 내구성을 확인하고 싶다・・・
-
다공질 척이나 핸드의 형상을 제안해 주었으면 합니다.
오리지널 제품 일람
-
2023.10.17NEW! LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
분류: 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
용도: ウエハ搬送用(大気用)
재료: 高純度アルミナ
특징: 薄型のため、狭いカセットピッチへの搬送が可能
4～8インチの薄反りウエハの搬送が可能
8箇所のガイドでウエハの保持が可能
-
2023.09.25
NEW! センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
분류: 多孔質埋め込みハンド
용도: ウエハ搬送用(大気用)
재료: 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素
특징: ・センサー取り付けの溝付き
・薄反りウエハが吸着できる
・ウエハに吸着痕がつきにくい -
2023.09.14
NEW! 両面吸着多孔質チャック
분류: 多孔質チャック
용도: 吸着
재료: 多孔質セラミックス,アルシーマ
특징: 両面同時に吸着が可能
バックアップ用
固定用治具として利用可能 -
2023.08.08
多孔質セラミックスAZPV60
분류: 多孔質セラミックス
용도: セッターフィルター吸着
재료: 多孔質セラミックス
특징: 通気率向上
ワーク変形の防止
高い応答性 -
2023.07.13
UniZac-Obon® (ユニザックオボン) トレイ式標準ハンド
분류: トレイ式標準ハンド
용도: ウエハ搬送（大気用・真空用）
재료: 高純度アルミナ,炭化ケイ素,コルシード
특징: 高耐熱性
高強度
薄型化
-
2023.04.21LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)
분류: 플로팅 스탠다드 핸드 (베르누이 방식)
용도: 웨이퍼 이송용(공기용)
재료: 高純度アルミナ
특징: 뒤틀린 웨이퍼를 운반 가능
얇은 웨이퍼 운반 가능
웨이퍼 유지를 가능하게 하는 4개의 외부 가이드
역조작 가능 -
2023.04.24
PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド
분류: 外周3mm吸着式標準ハンド
용도: ウエハ搬送用(大気用)
재료: 高純度アルミナ
특징: ウエハ外周3mm以内での吸着が可能
ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用
薄型化が可能 -
2023.05.31
UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
분류: 吸着ハンド
용도: ウエハ搬送用(大気用)
재료: 高純度アルミナ
특징: 耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
-
2023.06.14
UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド
분류: 吸着ハンド
용도: ウエハ搬送用(大気用)
재료: 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素
특징: ・薄ウエハに対して、平滑面で吸着可
・吸着痕が付きづらい
・薄く柔軟性のある反りウエハの吸着可
