UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド

상품명	UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド
분류	吸着ハンド
용도	ウエハ搬送用(大気用)
재료	高純度アルミナ 炭化ケイ素
특징	耐久性向上 高耐熱性 接着剤不使用
크기	12インチ：外形330×104 mm、厚み3.5 mm 8インチ ：外形158×74 mm、厚み1.9 mm

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LeviZac 8인치

（레비작 8인치）

• 무접착제
• 향상된 내구성
• 흡착방식
• 내열성
• 무금속
• 대기용
• 희석제
• 고강도
• 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

LeviZac 12인치

（레비작 12인치）

• 무접착제
• 향상된 내구성
• 흡착방식
• 내열성
• 무금속
• 대기용
• 희석제
• 고강도
• 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

PeriZac 8인치

（페리작 8인치）

• 무접착제
• 향상된 내구성
• 흡착방식
• 내열성
• 무금속
• 대기용
• 희석제
• 고강도
• 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

PeriZac 12인치

（페리작 12인치）

• 무접착제
• 향상된 내구성
• 흡착방식
• 내열성
• 무금속
• 대기용
• 희석제
• 고강도
• 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

UniZac-air 8인치

（유니잭 에어 8인치）

• 무접착제
• 향상된 내구성
• 흡착방식
• 내열성
• 무금속
• 대기용
• 희석제
• 고강도
• 통합 캐비티

유기계의 아웃 가스 대책에도 유효

UniZac-air 12인치

（유니잭 에어 12인치）

• 무접착제
• 향상된 내구성
• 흡착방식
• 내열성
• 무금속
• 대기용
• 희석제
• 고강도
• 통합 캐비티

유기계의 아웃 가스 대책에도 유효

UniZac-Obon 8인치

（유니작 오본 8인치）

• 무접착제
• 향상된 내구성
• 흡착방식
• 내열성
• 무금속
• 대기용
• 희석제
• 고강도
• 통합 캐비티

경량화·박형화를 실현

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"UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド"의 동영상

• 吸着ハンド（UniZac-air®）12インチの搬送動画

  12インチ 吸着ハンド（UniZac-air®）のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。

• 吸引ポートの位置の変更はできますか。

  位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。
  

• 12インチ、8インチ以外のウエハサイズに対応したUniZac-air® は、製作が可能ですか。

  製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
  詳細はお問い合わせください。
  

• UniZac-air® は、反転搬送ができますか。

  反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
  

• 取付穴の位置の変更はできますか。

  できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。
  

• アルミナ以外の材質のUniZac-airはありますか。

  SiC空洞一体ハンドUniZac-airがあります。詳細はこちら→

• UniZac-airのデモ機はありますか。

  あります。アルミナでは、12インチと8インチ用があります。SiCは8インチ用があります。SiCの12インチは現在製作中です。