ヒーター搭載多孔質チャック
산업: 반도체,영화,ボンディング工程,検査工程
재질: 고순도 알루미나,SiC(탄화규소),다공성 세라믹(포러스 세라믹),전도성 세라믹
高耐熱性12インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド(UniZac-air®)
산업: 洗浄工程,반도체,로봇·장치,アニール工程,エピタキシャル工程,CVD工程
재질: 고순도 SiC,SiC(탄화규소)
ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック
산업: ボンディング工程,반도체
재질: SiC(탄화규소)
드라이 에칭용 SiC제 웨이퍼 트레이(자그리 홀 타입)
산업: 반도체
재질: SiC(탄화규소)
광도파로 연구용 SiC제 웨이퍼 트레이
산업: 반도체
재질: SiC(탄화규소)
SiC제 소성용 세터
산업: 세라믹 소성 지그
재질: SiC(탄화규소)
SiC제 원통 부품
산업: 영화,대학·연구기관,산업 기계
재질: SiC(탄화규소)
SiC제 도가니(도가니)
산업: 세라믹 소성 지그,산업 기계,대학·연구기관
재질: SiC(탄화규소)