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UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド

UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|Ceramics Design Lab
產品名稱 UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
分類 吸着ハンド
用法 ウエハ搬送用(大気用)
材料 高純度アルミナ
特徵 耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
尺寸 12インチ:外形330×104 mm、厚み3.5 mm
8インチ :外形158×74 mm、厚み1.9 mm

本產品的特點

UniZac-air® は、空洞一体技術で耐久性を向上させた当社オリジナルのハンドです。空洞一体仕様のため、貼り合わせの仕様よりも強度が強く、軽量化を実現しました。金属のハンドと比べて、たわみが少ないことが特徴です。また、接着剤を使用していないため、有機系のアウトガス対策に有効です。高温環境下で使用可能なハンドです。

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"的特點

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|Ceramics Design Lab
    ・高耐熱性
    ・薄型化
    ・軽量化
    ・たわみが少ない
    ・空洞一体技術で耐久性が向上

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"的形狀

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|Ceramics Design Lab
    図1は、12インチのUniZac-air® の外観形状です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|Ceramics Design Lab
    図2は、8インチのUniZac-air® の外観形状です。2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
    ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"下載圖

LeviZac 8寸|Ceramics Design Lab

LeviZac 8寸

(利維薩克 8寸)

  • 免膠
  • 提高耐久性
  • 吸附式
  • 耐熱性
  • 不含金屬
  • 對於大氣
  • 稀釋劑
  • 高強度
  • 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

LeviZac 12寸|Ceramics Design Lab

LeviZac 12寸

(利維薩克 12 寸)

  • 免膠
  • 提高耐久性
  • 吸附式
  • 耐熱性
  • 不含金屬
  • 對於大氣
  • 稀釋劑
  • 高強度
  • 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

PeriZac 8寸|Ceramics Design Lab

PeriZac 8寸

(佩里扎克8寸)

  • 免膠
  • 提高耐久性
  • 吸附式
  • 耐熱性
  • 不含金屬
  • 對於大氣
  • 稀釋劑
  • 高強度
  • 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

PeriZac 12寸|Ceramics Design Lab

PeriZac 12寸

(佩里扎克 12寸)

  • 免膠
  • 提高耐久性
  • 吸附式
  • 耐熱性
  • 不含金屬
  • 對於大氣
  • 稀釋劑
  • 高強度
  • 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

UniZac-air 8寸|Ceramics Design Lab

UniZac-air 8寸

(尤尼扎克空氣 8寸)

  • 免膠
  • 提高耐久性
  • 吸附式
  • 耐熱性
  • 不含金屬
  • 對於大氣
  • 稀釋劑
  • 高強度
  • 一體式腔體

對有機除氣也有效

UniZac-air 12寸|Ceramics Design Lab

UniZac-air 12寸

(尤尼扎克空氣 12 寸)

  • 免膠
  • 提高耐久性
  • 吸附式
  • 耐熱性
  • 不含金屬
  • 對於大氣
  • 稀釋劑
  • 高強度
  • 一體式腔體

對有機除氣也有效

UniZac-Obon 8寸|Ceramics Design Lab

UniZac-Obon 8寸

(UniZac-托盤 8寸)

  • 免膠
  • 提高耐久性
  • 吸附式
  • 耐熱性
  • 不含金屬
  • 對於大氣
  • 稀釋劑
  • 高強度
  • 一體式腔體

實現減重瘦身

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"視頻

  • 吸着ハンド(UniZac-air®)12インチの搬送動画

    12インチ 吸着ハンド(UniZac-air®)のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"常見問題解答

  • 位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。

  • 製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
    詳細はお問い合わせください。

  • 反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。

  • できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。

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