상품명 | UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド |
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분류 | 吸着ハンド |
용도 | ウエハ搬送用(大気用) |
재료 | 高純度アルミナ |
특징 |
耐久性向上 高耐熱性 接着剤不使用 |
크기 |
12インチ:外形330×104 mm、厚み3.5 mm 8インチ :外形158×74 mm、厚み1.9 mm |
이 제품의 특징
"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 특징
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・高耐熱性
・薄型化
・軽量化
・たわみが少ない
・空洞一体技術で耐久性が向上
"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 형상
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図1は、12インチのUniZac-air® の外観形状です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
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図2は、8インチのUniZac-air® の外観形状です。2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。
"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 사례·실적
"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 도면 다운로드
LeviZac 8인치
(레비작 8인치)
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
LeviZac 12인치
(레비작 12인치)
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
PeriZac 8인치
(페리작 8인치)
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
PeriZac 12인치
(페리작 12인치)
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능
UniZac-air 8인치
(유니잭 에어 8인치)
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
유기계의 아웃 가스 대책에도 유효
UniZac-air 12인치
(유니잭 에어 12인치)
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
유기계의 아웃 가스 대책에도 유효
UniZac-Obon 8인치
(유니작 오본 8인치)
- 무접착제
- 향상된 내구성
- 흡착방식
- 내열성
- 무금속
- 대기용
- 희석제
- 고강도
- 통합 캐비티
경량화·박형화를 실현
"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 동영상
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吸着ハンド(UniZac-air®)12インチの搬送動画
12インチ 吸着ハンド(UniZac-air®)のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。
"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"에 대한 자주 묻는 질문
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位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。
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製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
詳細はお問い合わせください。
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反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
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できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。