오리지널 제품

세라믹스 디자인 라보 > 오리지널 제품 > UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド

UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド

UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|세라믹스 디자인 라보
상품명 UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
분류 吸着ハンド
용도 ウエハ搬送用(大気用)
재료 高純度アルミナ
특징 耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
크기 12インチ:外形330×104 mm、厚み3.5 mm
8インチ :外形158×74 mm、厚み1.9 mm

이 제품의 특징

UniZac-air® は、空洞一体技術で耐久性を向上させた当社オリジナルのハンドです。空洞一体仕様のため、貼り合わせの仕様よりも強度が強く、軽量化を実現しました。金属のハンドと比べて、たわみが少ないことが特徴です。また、接着剤を使用していないため、有機系のアウトガス対策に有効です。高温環境下で使用可能なハンドです。

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 특징

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|세라믹스 디자인 라보
    ・高耐熱性
    ・薄型化
    ・軽量化
    ・たわみが少ない
    ・空洞一体技術で耐久性が向上

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 형상

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|세라믹스 디자인 라보
    図1は、12インチのUniZac-air® の外観形状です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
  • UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド|세라믹스 디자인 라보
    図2は、8インチのUniZac-air® の外観形状です。2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。
    ロボットへの取付穴は、ご希望の位置に加工が可能です。

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 도면 다운로드

LeviZac 8인치|세라믹스 디자인 라보

LeviZac 8인치

(레비작 8인치)

  • 무접착제
  • 향상된 내구성
  • 흡착방식
  • 내열성
  • 무금속
  • 대기용
  • 희석제
  • 고강도
  • 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

LeviZac 12인치|세라믹스 디자인 라보

LeviZac 12인치

(레비작 12인치)

  • 무접착제
  • 향상된 내구성
  • 흡착방식
  • 내열성
  • 무금속
  • 대기용
  • 희석제
  • 고강도
  • 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

PeriZac 8인치|세라믹스 디자인 라보

PeriZac 8인치

(페리작 8인치)

  • 무접착제
  • 향상된 내구성
  • 흡착방식
  • 내열성
  • 무금속
  • 대기용
  • 희석제
  • 고강도
  • 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

PeriZac 12인치|세라믹스 디자인 라보

PeriZac 12인치

(페리작 12인치)

  • 무접착제
  • 향상된 내구성
  • 흡착방식
  • 내열성
  • 무금속
  • 대기용
  • 희석제
  • 고강도
  • 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

UniZac-air 8인치|세라믹스 디자인 라보

UniZac-air 8인치

(유니잭 에어 8인치)

  • 무접착제
  • 향상된 내구성
  • 흡착방식
  • 내열성
  • 무금속
  • 대기용
  • 희석제
  • 고강도
  • 통합 캐비티

유기계의 아웃 가스 대책에도 유효

UniZac-air 12인치|세라믹스 디자인 라보

UniZac-air 12인치

(유니잭 에어 12인치)

  • 무접착제
  • 향상된 내구성
  • 흡착방식
  • 내열성
  • 무금속
  • 대기용
  • 희석제
  • 고강도
  • 통합 캐비티

유기계의 아웃 가스 대책에도 유효

UniZac-Obon 8인치|세라믹스 디자인 라보

UniZac-Obon 8인치

(유니작 오본 8인치)

  • 무접착제
  • 향상된 내구성
  • 흡착방식
  • 내열성
  • 무금속
  • 대기용
  • 희석제
  • 고강도
  • 통합 캐비티

경량화·박형화를 실현

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"의 동영상

  • 吸着ハンド(UniZac-air®)12インチの搬送動画

    12インチ 吸着ハンド(UniZac-air®)のウエハ搬送動画です。3箇所の吸着穴でウエハを吸着し、搬送しています。空洞一体技術を使用して製作しているため、接着剤を使用していません。耐久性が高く、高温環境で使用ができます。有機系のアウトガスが発生するリスクがありません。

"UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド"에 대한 자주 묻는 질문

  • 位置の変更はできます。センターライン上の表面あるいは裏面に吸引ポート穴を開けることが可能です。貫通穴の対応も可能です。

  • 製作は可能です。Y型の形状のUniZac-air® では、4インチ、5インチ、6インチのウエハに対応したものが製作可能です。
    詳細はお問い合わせください。

  • 反転搬送ができます。12インチのUniZac-air® は、3箇所の吸着穴でウエハを吸着します。8インチのUniZac-air®は、2箇所の吸着穴でウエハを吸着します。

  • できます。ご希望の取り付け位置に、取付穴を加工できます。

CONTACT

견적 및 문의는 전화/
FAX 또는 우편으로 가능합니다.

TEL. +81-26-248-1626

FAX. +81-26-251-2160