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LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)

LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)|세라믹스 디자인 라보
상품명 LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)
분류 플로팅 스탠다드 핸드 (베르누이 방식)
용도 웨이퍼 이송용(공기용)
재료 高純度アルミナ
특징 뒤틀린 웨이퍼를 운반 가능
얇은 웨이퍼 운반 가능
웨이퍼 유지를 가능하게 하는 4개의 외부 가이드
역조작 가능
크기 12인치: 외부 350×220mm, 두께 2.5mm
8인치: 외부 272×100mm, 두께 2.5mm

이 제품의 특징

LeviZac®은 독특한 스파우트 구멍이 있는 오리지널 핸드입니다. 압축 공기가 손으로 보내지고 베르누이 효과에 의해 얻어진 중력이 웨이퍼를 끌어당깁니다. 웨이퍼가 미끄러지거나 떨어지는 것을 방지하기 위해 손의 바깥쪽 둘레에 4개의 가이드가 제공됩니다. 웨이퍼는 웨이퍼 둘레의 3mm 이내로 유지될 수 있습니다. 웨이퍼에 가해지는 부하를 줄일 수 있고 얇게 휘어진 웨이퍼를 운반할 수 있습니다. SUS 플레이트를 사용하지 않는 캐비티 일체형 사양이기 때문에 노화로 인한 박리나 누출의 영향을 받지 않습니다. 또한 얇게 만들 수 있고 내구성이 뛰어납니다.

"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 특징

  • LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)|세라믹스 디자인 라보
    ・휘어진 웨이퍼를 운반 가능
    ・얇은 웨이퍼를 운반 가능
    ・외주 기준 이외의 비접촉
    ・역조작 가능

"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 형상

  • LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)|세라믹스 디자인 라보
    그림 1은 LeviZac®의 외관을 보여줍니다.
    4개의 분출 구멍과 가이드가 있습니다.
  • LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)|세라믹스 디자인 라보
    그림 2는 LeviZac®의 단면을 보여줍니다.
    3mm의 웨이퍼 둘레는 웨이퍼를 고정할 수 있습니다.

"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 도면 다운로드

LeviZac 8인치|세라믹스 디자인 라보

LeviZac 8인치

(레비작 8인치)

  • 뒤틀린 웨이퍼
  • 얇은 웨이퍼
  • 부양 유형
  • 베르누이 방정식
  • 내열성
  • 대기용
  • 분출 구멍
  • 가이드
  • 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

LeviZac 12인치|세라믹스 디자인 라보

LeviZac 12인치

(레비작 12인치)

  • 뒤틀린 웨이퍼
  • 얇은 웨이퍼
  • 부양 유형
  • 베르누이 방정식
  • 내열성
  • 대기용
  • 분출 구멍
  • 가이드
  • 통합 캐비티

웨이퍼 외주 3mm 이내에서의 유지가 가능

"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"의 동영상

  • LeviZac 8인치 수중 웨이퍼 고정

    이것은 8인치 베르누이 손(LeviZac)이 웨이퍼를 물에 담고 있는 영상입니다. 웨이퍼는 4개의 스파우팅 구멍에서 물을 분출하여 고정됩니다. 웨이퍼는 약 3mm의 외주를 갖는 4개의 가이드에 의해 고정된다. 수중에서 사용할 수 있습니다.
  • 베르누이 핸드 (LeviZac) 12 인치 웨이퍼 전사 비디오

    이것은 12인치 베르누이 핸드(LeviZac) 웨이퍼 전사 영상입니다. 웨이퍼는 4개의 분출 구멍에서 공기를 불어넣어 고정됩니다. 웨이퍼는 약 3mm의 외주를 갖는 4개의 가이드에 의해 고정된다. LeviZac은 회전하여 웨이퍼를 고정할 수 있습니다. 웨이퍼는 위에서 빨아들이면서 운반할 수 있습니다.

"LeviZac® 공중 부양 표준 손(베르누이 방식)"에 대한 자주 묻는 질문

  • 가이드의 내열온도가 100°C이기 때문에 그 이상의 온도에서는 사용이 어렵습니다.
    고온 환경에서의 사용을 위해 가이드 소재가 알루미나로 만들어진 형상을 제안합니다.
    자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.

  • 제작이 가능합니다. Y자형 LeviZac은 4인치, 5인치 및 6인치 웨이퍼용으로 제조할 수 있습니다.
    4인치용 LeviZac은 5~8인치 웨이퍼를 수용할 수 있습니다.
    I자형의 LeviZac도 준비되어 있으니 부담없이 상담해주십시오.

  • 수평 위치로 운반 할 수 있습니다. LeviZac®은 4개의 가이드가 있는 공작물을 고정합니다.
    공작물의 윗면은 위에서 끌어당기고, 유지하고, 운반할 수 있습니다.

  • 유지할 수 있습니다. LeviZac은® 물이나 액체를 공기 경로로 흐르게 하고 스파우트홀을 통해 배출하여 웨이퍼를 고정할 수 있습니다.
    자세한 내용은 이 동영상을 시청하세요.

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