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LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)

LeviZac®  浮動標準手 (Bernoulli method)|Ceramics Design Lab
產品名稱 LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)
分類 浮動標準指標(伯努利法)
用法 用於晶圓輸送(用於空氣)
材料 高純度アルミナ
特徵 可以運輸翹曲的晶圓
能夠運輸薄晶圓
四個外部導軌可實現晶圓固定
可反向操作
尺寸 12 英寸:外部 350×220 毫米,厚度 2.5 毫米
8 英寸:外部 272×100 毫米,厚度 2.5 毫米

 

本產品的特點

LeviZac®是我們最初的手,具有獨特的噴口孔。 壓縮空氣被送到手上,伯努利效應獲得的引力吸引晶圓。 為了防止晶圓滑動或掉落,在手的外周周圍提供了四個導軌。 晶圓可以保持在晶圓周長 3 mm 以內。 可以減少晶圓上的負載,並且可以運輸薄翹曲的晶圓。 由於它是不使用SUS板的型腔集成規格,因此不會因老化而受到剝落或洩漏的影響。 此外,它可以做得很薄,並且具有出色的耐用性。

"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"的特點

  • LeviZac®  浮動標準手 (Bernoulli method)|Ceramics Design Lab
    ・可以運輸翹曲的晶圓
    ・可運輸薄晶圓
    ・除了外圓周上的指南外,非接觸式
    ・可反向操作

"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"的形狀

  • LeviZac®  浮動標準手 (Bernoulli method)|Ceramics Design Lab
    圖 1 顯示了 LeviZac® 的外觀形狀
    有四個井噴孔和一個導軌
  • LeviZac®  浮動標準手 (Bernoulli method)|Ceramics Design Lab
    圖2顯示了LeviZac®的橫截面
    晶圓周長為3mm即可容納晶圓

"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"下載圖

LeviZac 8寸|Ceramics Design Lab

LeviZac 8寸

(利維薩克 8寸)

  • 翹曲的晶圓
  • 薄晶圓
  • 浮選型
  • 伯努利方程
  • 耐熱性
  • 對於大氣
  • 噴水孔
  • 指導
  • 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

LeviZac 12寸|Ceramics Design Lab

LeviZac 12寸

(利維薩克 12 寸)

  • 翹曲的晶圓
  • 薄晶圓
  • 浮選型
  • 伯努利方程
  • 耐熱性
  • 對於大氣
  • 噴水孔
  • 指導
  • 一體式腔體

Wafer 可固定在外周 3mm 以內

"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"視頻

  • 伯努利手 (LeviZac) 8 吋晶圓在水中保存視頻

    這是一段8英寸伯努利手(LeviZac)在水中拿著晶圓的視頻。 晶圓通過從四個噴口孔噴出水來固定。 晶圓由四個外周約為 3 mm 的導軌固定。 它可以在水下使用。
  • 伯努利手 (列維紮克) 12 吋晶圓傳輸視頻

    這是一個 12 英寸伯努利手 (LeviZac) 晶圓傳輸視頻。 晶圓通過從四個吹出孔吹出空氣來固定。 晶圓由四個外周約為 3 mm 的導軌固定。 LeviZac可以旋轉以固定晶圓。 晶圓可以在從上方吸吮的同時運輸。

"LeviZac® 浮動標準手 (Bernoulli method)"常見問題解答

  • 由於導軌的耐熱溫度為100°C,因此很難在高於該溫度的溫度下使用。
    為了在高溫環境中使用,我們將提出一種由氧化鋁製成的導向材料的形狀。
    詳情請聯絡我們。

  • 製造是可能的。 Y形LeviZac可以製造用於4英寸,5英寸和6英寸晶圓。
    4英寸的LeviZac可以容納5~8英寸的晶圓。
    I形的LeviZac也可用,所以請隨時與我們聯繫。

  • 它可以在水準位置運輸。 LeviZac® 用四個導軌固定工件。
    工件的上表面可以從上方吸引、固定和運輸。

  • 可以保留。 LeviZac® 可以通過將水或液體流入氣道並通過噴口孔噴射來容納晶圓。
    觀看此視頻以瞭解更多資訊。

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