搬送ハンドを検討しているが、 どのようなハンドを選定してよいかわからない・・・
搬送ハンドの位置精度や繰り返し精度、耐久性を確かめたい・・・
多孔質チャックやハンドの形状を提案してほしい・・・
LeviZac® (レビザック) 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
分類: 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)
用途: ウエハ搬送用(大気用)
材質: 高純度アルミナ
特徴:
反りウエハの搬送が可能
薄いウエハの搬送が可能
4箇所の外周ガイドでウエハの保持が可能
反転動作が可能
UniZac-air® (ユニザックエア) 吸着ハンド
分類: 吸着ハンド
用途: ウエハ搬送用(大気用)
材質: 高純度アルミナ
特徴:
耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用
PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド
分類: 外周3mm吸着式標準ハンド
用途: ウエハ搬送用(大気用)
材質: 高純度アルミナ
特徴:
ウエハ外周3mm以内での吸着が可能
ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用
薄型化が可能
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