オリジナル製品

2024.07.23

NEW! UniZac-air® (ユニザックエア)　センサー溝付き空洞一体ハンド（12インチ用）

分類： センサー溝付き搬送ハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ

特徴： ・空洞内部にセンサー溝がある
・表面が吸着面、裏面にセンサー溝の　　　
　挿入口がある
・接着剤不使用の完全一体型のため
　耐熱性がある
・貼り合わせ部品が剥がれる恐れがない

2024.07.02

NEW! 試作品トレイ式軽量化ハンド（UniZac-Obon®）

分類： トレイ式標準ハンド

用途： ウエハ搬送（大気用・真空用）

材質： 高純度アルミナ

特徴： ・高耐熱性
・軽量化
・たわみが少ない

2024.05.22

NEW! 反りウエハ対応UniZac-air® (ユニザックエア)（4～8インチ用）

分類： 吸着ハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ

特徴： ・先端2箇所に段差を設けた
　空洞一体型ハンド
・薄型化
・接着剤不使用

2024.03.11

NEW! UniZac-air® (ユニザックエア)　両面吸着ハンド（12インチ用）

分類： 両面吸着ハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ

特徴： ・空路が2段の空洞一体型ハンド
・両面吸着可能
・接着剤不使用

2024.02.15

NEW! UniZac-air® (ユニザックエア)　厚さ1.2 mm 吸着ハンド（4～8インチ用）

分類： 吸着ハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ

特徴： ・空洞一体型ハンド
・カセット内でのウエハの接触防止
・4～8インチのウエハに対応可能

2023.10.17

NEW! LeviZac®(薄型)浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

分類： 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ

特徴： I型かつ薄型のため、狭いカセットピッチへのウエハ搬送が可能
4～8インチの薄反りウエハの搬送が可能
複数のガイドでウエハの保持が可能

2023.09.25

センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ

分類： 多孔質埋め込みハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素

特徴： ・センサー取り付けの溝付き
・薄反りウエハが吸着できる
・ウエハに吸着痕がつきにくい

2023.09.14

両面吸着多孔質チャック

分類： 多孔質チャック

用途： 吸着

材質： 多孔質セラミックス,アルシーマ

特徴： 両面同時に吸着が可能
バックアップ用
固定用治具として利用可能

2023.08.08

多孔質セラミックスAZPV60

分類： 多孔質セラミックス

用途： セッターフィルター吸着

材質： 多孔質セラミックス

特徴： 通気率向上
ワーク変形の防止
高い応答性

2023.07.13

UniZac-Obon® (ユニザックオボン)　トレイ式標準ハンド

分類： トレイ式標準ハンド

用途： ウエハ搬送（大気用・真空用）

材質： 高純度アルミナ,炭化ケイ素,コルシード

特徴： 高耐熱性
高強度
薄型化

2023.04.21

LeviZac® (レビザック)　浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

分類： 浮上式標準ハンド(ベルヌーイ方式)

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ

特徴： 反りウエハの搬送が可能
薄いウエハの搬送が可能
4箇所の外周ガイドでウエハの保持が可能
反転動作が可能

2023.04.24

PeriZac® (ペリザック)外周3mm吸着式標準ハンド

分類： 外周3mm吸着式標準ハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ

特徴： ウエハ外周3mm以内での吸着が可能
ワークにダメージを与えにくい材質のガイドを使用　　　
薄型化が可能

2023.05.31

UniZac-air® (ユニザックエア)　吸着ハンド

分類： 吸着ハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 高純度アルミナ,炭化ケイ素

特徴： 耐久性向上
高耐熱性
接着剤不使用

2023.06.14

UniZac-Pair（ユニザックペア）多孔質埋め込みハンド

分類： 吸着ハンド

用途： ウエハ搬送用(大気用)

材質： 吸着部：多孔質セラミックス、本体：高純度アルミナ、炭化ケイ素

特徴： ・薄ウエハに対して、平滑面で吸着可
・吸着痕が付きづらい
・薄く柔軟性のある反りウエハの吸着可