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UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)

UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
製品名称 UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)
分類 両面吸着ハンド
用途 ウエハ搬送用(大気用)
材質 高純度アルミナ
特徴 ・空路が2段の空洞一体型ハンド
・両面吸着可能
・接着剤不使用
サイズ 外形330×104 mm、厚み3.5 mm

この製品の特徴

UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)は、空路が2段の空洞一体型ハンドです。2段の空洞は独立しているため、表面と裏面で吸着が可能です。接着剤は使用していないため、高温環境下での使用ができます。ウエハの処理前後で、異なるウエハを吸着したい場合、1本のハンドで対応可能です。歩留まり改善や生産性向上が期待できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)」の
特徴

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    ・空路が2段の空洞一体型ハンド
    ・両面吸着可能
    ・接着剤不使用

「UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)」の
形状

  • UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    左図は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)の空路のイメージ図と切断写真です。2段の空路が独立しています。
    ※画像をクリックすると、拡大できます。
  • UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    図1は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)の外形図です。表面と裏面は同形状です。3ヶ所の吸着穴でウエハを吸着する形状です。
    ※画像をクリックすると、拡大できます。
  • UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    左図は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)のA-A断面図です。真ん中の吸着部は、Φ16の0.3mm凸になり、Φ4の空洞部に通じる穴が両面に開いています。根本の吸引ポートは、Φ5で、両面に開いています。
    ※画像をクリックすると、拡大できます。
  • UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)|セラミックスデザインラボ
    左図は、UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)のB-B
    断面図です。先端部の吸着部は、0.3 mmの段が施され、Φ4の空洞部に通じる穴が両面に開いています。
    ※画像をクリックすると、拡大できます。

「UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド(12インチ用)」に
関するよくある質問

  • 可能です。接着剤を使用していないため、高温環境下で使用できます。

  • できます。表面と裏面の空路が独立しているため、両面同時に吸着ができます。

  • できます。吸着ハンドのため、ウエハを吸着したまま、反転ができます。

  • デモ機の貸し出しは可能です。貸し出し期間は、約2週間です。詳しくはお問い合わせください。詳細はこちら→

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