図面ダウンロード
ウエハ搬送ハンドの2D図面・3D図面ファイルをdwg形式やSTEP形式で
ダウンロードできます(複数選択可能)。ぜひお役立てください。
(レビザック12インチ)
ウエハ外周3mm以内での保持が可能
(レビザック8インチ)
ウエハ外周3mm以内での保持が可能
(ペリザック12インチ)
ウエハ外周3mm以内での保持が可能
(ペリザック8インチ)
ウエハ外周3mm以内での保持が可能
(ユニザックエア12インチ)
有機系のアウトガス対策にも有効
(ユニザックエア8インチ)
有機系のアウトガス対策にも有効
(ユニザックオボン12インチ)
軽量化・薄型化を実現
(ユニザックオボン8インチ)
軽量化・薄型化を実現
(ユニザックオボン4インチ)
軽量化・薄型化を実現
(多孔質埋め込みハンド12インチ)
薄反りウエハの保持が可能
(多孔質埋め込みハンド8インチ)
薄反りウエハの保持が可能
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