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  • LeviZac 12インチ|セラミックスデザインラボ

    LeviZac 12インチ

    (レビザック12インチ)

    • 反りウエハ
    • 薄いウエハ
    • 浮上式
    • ベルヌーイ式
    • 耐熱性
    • 大気用
    • 噴き出し穴
    • ガイド
    • 空洞一体

    ウエハ外周3mm以内での保持が可能

  • LeviZac 8インチ|セラミックスデザインラボ

    LeviZac 8インチ

    (レビザック8インチ)

    • 反りウエハ
    • 薄いウエハ
    • 浮上式
    • ベルヌーイ式
    • 耐熱性
    • 大気用
    • 噴き出し穴
    • ガイド
    • 空洞一体

    ウエハ外周3mm以内での保持が可能

  • PeriZac 12インチ|セラミックスデザインラボ

    PeriZac 12インチ

    (ペリザック12インチ)

    • パーティクル
      抑制
    • 耐久性向上
    • 吸着式
    • たわみ
    • 金属レス
    • 大気用
    • 薄型化
    • ガイド
    • 空洞一体

    ウエハ外周3mm以内での保持が可能

  • PeriZac 8インチ|セラミックスデザインラボ

    PeriZac 8インチ

    (ペリザック8インチ)

    • パーティクル
      抑制
    • 耐久性向上
    • 吸着式
    • たわみ
    • 金属レス
    • 大気用
    • 薄型化
    • ガイド
    • 空洞一体

    ウエハ外周3mm以内での保持が可能

  • UniZac-air 12インチ|セラミックスデザインラボ

    UniZac-air 12インチ

    (ユニザックエア12インチ)

    • 接着剤
      不使用
    • 耐久性向上
    • 吸着式
    • 耐熱性
    • 金属レス
    • 大気用
    • 薄型化
    • 高強度
    • 空洞一体

    有機系のアウトガス対策にも有効

  • UniZac-air 8インチ|セラミックスデザインラボ

    UniZac-air 8インチ

    (ユニザックエア8インチ)

    • 接着剤
      不使用
    • 耐久性向上
    • 吸着式
    • 耐熱性
    • 金属レス
    • 大気用
    • 薄型化
    • 高強度
    • 空洞一体

    有機系のアウトガス対策にも有効

  • UniZac-Obon 12インチ|セラミックスデザインラボ

    UniZac-Obon 12インチ

    (ユニザックオボン12インチ)

    • 短納期
    • 耐久性向上
    • トレイ式
    • 耐熱性
    • 大気用
    • 真空用
    • たわみ
    • 高強度
    • 軽量

    軽量化・薄型化を実現

  • UniZac-Obon 8インチ|セラミックスデザインラボ

    UniZac-Obon 8インチ

    (ユニザックオボン8インチ)

    • 短納期
    • 耐久性向上
    • トレイ式
    • 耐熱性
    • 大気用
    • 真空用
    • たわみ
    • 高強度
    • 軽量

    軽量化・薄型化を実現

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