搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
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ウエハ搬送ハンドの2D図面・3D図面ファイルをdwg形式やSTEP形式で
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LeviZac 12インチ
（レビザック12インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
LeviZac 8インチ
（レビザック8インチ）
- 反りウエハ
- 薄いウエハ
- 浮上式
- ベルヌーイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 噴き出し穴
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
PeriZac 12インチ
（ペリザック12インチ）
-
パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
パーティクル
-
PeriZac 8インチ
（ペリザック8インチ）
-
パーティクル
抑制 - 耐久性向上
- 吸着式
- たわみ
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- ガイド
- 空洞一体
ウエハ外周3ｍｍ以内での保持が可能
-
パーティクル
-
UniZac-air 12インチ
（ユニザックエア12インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
-
接着剤
-
UniZac-air 8インチ
（ユニザックエア8インチ）
-
接着剤
不使用 - 耐久性向上
- 吸着式
- 耐熱性
- 金属レス
- 大気用
- 薄型化
- 高強度
- 空洞一体
有機系のアウトガス対策にも有効
-
接着剤
-
UniZac-Obon 12インチ
（ユニザックオボン12インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
-
UniZac-Obon 8インチ
（ユニザックオボン8インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
-
UniZac-Obon 4インチ
（ユニザックオボン4インチ）
- 短納期
- 耐久性向上
- トレイ式
- 耐熱性
- 大気用
- 真空用
- たわみ
- 高強度
- 軽量
軽量化・薄型化を実現
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多孔質埋め込みハンド 12インチ
（多孔質埋め込みハンド12インチ）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
-
多孔質
埋め込み式 - 大気用
- 通気性
- 応答性
薄反りウエハの保持が可能
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多孔質埋め込みハンド 8インチ
（多孔質埋め込みハンド8インチ）
- 反りウエハ
- 薄ウエハ
- 変形防止
- 吸着痕抑制
- 吸着式
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多孔質
埋め込み式 - 大気用
- 通気性
- 応答性
薄反りウエハの保持が可能
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