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문제제품 교환 공수
내식성 -
제안 효과공수 절감
비용 절감
생산성 향상 -
상품 유형알루미나 커버
고객의 고민과 고민 / 비포
우리의 제안 및 개선 효과 / 이후
따라서 “세라믹스 디자인 랩”은 고객이 CVD 장치의 챔버 내벽을 청소할 때 히터 부품에 알루미나 소재의 보호 커버를 설치하는 것을 제안했습니다.
그 결과, 클리닝 가스로 히터가 오염되는 것을 방지할 수 있었기 때문에, 히터 부품의 소유가 좋아져, 히터 부품의 교환 빈도를 대폭 저감시킬 수 있었다.
제안 사례의 포인트 / 포인트
본 사례의 포인트는 교환 빈도가 많은 부품에 알루미나의 보호 커버를 설치함으로써 부품의 장수명화 및 교환 공수의 저감을 실현한 점에 있습니다.
세라믹 소재의 하나인 알루미나는, 금속 재료에 비해 매우 뛰어난 내식성・내약품성을 가져, 고온 내성도 양호합니다. 따라서 보호 커버 자체의 수명도 길다.
「세라믹스 디자인 랩」을 운영하는 아스작 주식회사 파인 세라믹스 사업부에서는, 재료 개발·조합으로부터, 설계·제작, 표면 처리·검사·세정까지 일관 대응하고 있습니다. 세라믹 재료에 기능성을 부가하는 독자적인 코팅 기술이나, 내열성·도전성을 가지는 세라믹 재료, 순도가 높고 오염을 막는 고순도의 알루미나·SiC 등의 재료 선정에 대해서도 제안하는 것이 가능합니다 .
기존의 금속·플라스틱 제품으로부터, 내식성·내약품성·고온 내성이 뛰어난 세라믹스 제품에의 치환을 검토할 때는, 부담없이 상담해 주십시오.
반도체 디바이스 메이커의 고객으로부터, 「클리닝 가스로 오염된 CVD 장치의 히터 부품의 교환 빈도가 많이 번거롭기 때문에, 교환 빈도를 줄이는 궁리는 없습니까?」라고 하는 것으로, 당사에 상담이 있었습니다.