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CERAMICS DESIGN LAB > 氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率

氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率

  • 問題
    產品更換工時
    耐腐蝕性能
  • 擬議效果
    減少工時
    降低成本
    提高生產力
  • 產品類別
    氧化鋁蓋

客戶的疑慮和問題 / 之前

一位半導體設備製造商的客戶問我們,“更換被清潔氣體污染的CVD設備的加熱器部件很麻煩。有什麼方法可以減少更換頻率嗎?”是。

  • 氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率|Ceramics Design Lab

我們的建議及改善效果 / 完成後

因此,“陶瓷設計實驗室”向客戶提出在清潔CVD設備腔體內壁時,在加熱器部件上加裝氧化鋁材質的保護罩。

因此,我們能夠防止加熱器被清潔氣體污染,從而提高了加熱器部件的使用壽命,大大降低了加熱器部件的更換頻率。 rice場地。

  • 氧化鋁保護罩降低了 CVD 設備加熱器部件的更換頻率|Ceramics Design Lab
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建議示例的要點/要點

這個例子的重點是,通過在頻繁更換的部件上安裝氧化鋁保護罩,我們能夠延長部件的使用壽命並減少更換工時。

氧化鋁作為陶瓷材料的一種,與金屬材料相比具有優異的耐腐蝕性和耐化學性,同時還具有良好的耐高溫性能。因此,保護罩本身的壽命也長。

ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您正在考慮用具有優異耐腐蝕性、耐化學性和耐高溫性的陶瓷產品替代現有的金屬或塑料產品,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

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