VA / VE 提案示例

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雙面吸附多孔吸盤提案

  • 問題
    產品更換工時
    堵塞
    成本
  • 擬議效果
    提高生產率(提高吞吐量)
    減少工時
    降低成本
    改進的功能
  • 產品類別
    多孔卡盤

客戶的疑慮和問題 / 之前

一位客戶問我們是否有帶備用多孔夾頭的多孔夾頭。

目前使用的多孔卡盤在堵塞時必須清洗或更換,既費時又費錢。

我們的建議及改善效果 / 完成後

我們提出了一種可用於正面和背面的多孔卡盤,具有多孔 AZP60 表面和多孔 AZPS40 背面。

根據客戶的使用結果,我們能夠評估當一側的多孔表面堵塞時也可以使用背面。

卡盤更換時間減半,生產率提高。

  • 雙面吸附多孔吸盤提案|Ceramics Design Lab
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建議示例的要點/要點

這個例子的重點是我們能夠在不改變現有設備配置的情況下將清潔和更換的工作量減少一半。

根據習慣,多孔吸盤的吸附面只有一側,但實際上可以製造成雙面都能吸附的規格。通過使兩側吸附成為可能,可以靈活應對,例如減少維護頻率和擴大要運輸的物體。

ASUZAC Co., Ltd.的精細陶瓷事業部運營“陶瓷設計實驗室”,處理從材料開發和混合到設計和生產、表面處理、檢驗和清潔的所有事務。我們還可以建議材料的選擇,例如為陶瓷材料增加功能的原始塗層技術,具有耐熱性和導電性的陶瓷材料,以及高純度和防止污染的高純度氧化鋁和碳化矽。 。

如果您對現有的多孔卡盤有任何疑問,請隨時與我們聯繫。

從陶瓷材料加工到開發始終如一的支持!

隨意地請聯繫我們!

TEL +81-26-248-1626

營業時間:9:00~17:00(星期六、星期日、節假日休息)

面向設計師和開發人員的 VA/VE 提案示例

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  • 雜質
  • 火花
  • 晶圓划痕
  • 產品更換工時
  • 放氣
  • 表面電阻
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  • 反射率
  • 透氣性
  • 棉絨的附著力
  • 錯位
  • 堵塞
  • 抗等離子
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  • 產品壽命
  • 粉塵產生
  • 不良率
  • 耐熱
  • 污染
  • 磨耗
  • 功能性
  • 耐化學性
  • 耐腐蝕性能
  • 薄ウェハ

薄ウェハ

  • 準備中です
  • 金屬污染對策
  • 提高耐磨性
  • 改進的功能
  • 晶圓劃傷預防
  • 靜電對策
  • 提高耐熱性
  • 可移植性
  • 晶圓翹曲對策
  • 防電火花
  • 提高耐化學性
  • 提高生產力
  • 防止錯位
  • 減少不良率
  • 提高生產率(提高吞吐量)
  • 耐磨性
  • 抑制接觸損傷
  • 提高產量
  • 減少工時
  • 表面電阻值控制
  • 磨損保護
  • 粒子測量
  • 吸附疤痕抑制
  • 抑制放氣
  • 應變抑制
  • 改善等離子抗性
  • 長壽
  • 污染措施
  • 降低成本

改進的功能

  • 晶圓傳送手
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  • 多孔卡盤
  • 氧化鋁蓋
  • PAD
  • 其他

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