静電気対策のPAD提案

本事例のポイントは、静電気対策により、ウエハの摩耗・傷を防止し、歩留まり向上を実現した点です。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社ファインセラミックス事業部では、材料開発・調合から、設計・製作、表面処理・検査・洗浄まで一貫対応しております。セラミックス材料に機能性を付加する独自のコーティング技術や、耐熱性・導電性をもつセラミックス材料、純度が高くコンタミを防げる高純度のアルミナ・SiCなどの材料選定についてもご提案させていただくことが可能です。

既存のウエハ搬送ハンドについてお困りのことがありましたら、お気軽にご相談ください。