| 製品名称 | 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 産業機械 フィルム |
| 製品種類 | 多孔質チャック |
| 材質 | 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス） |
| サイズ | 本体外径：Φ170、厚み20 mm、多孔質外径：Φ150、厚み8 mm |
こちらは、ウエハやフィルター、治具類の吸着に使用する多孔質チャックです。
当社のマシニングセンターを使用して、JIS中級の寸法精度で加工を行いました。多孔質部分の飛び出し量は1mmになっています。本体の側面に、吸着ポート（Rc1/8）を施しました。多孔質と本体は、エポキシ系の接着剤で接着しています。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、多孔質セラミックス原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のような吸着チャックのほか、ウエハ搬送用ハンドやウエハートレイ、焼成治具などセラミックス製品の製作実績が多数ございます。
半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
