| 製品名称 | 4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®） |
|---|---|
| 業界 |
半導体 ロボット・装置 光学機器 |
| 製品種類 |
ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） ベルヌーイハンド |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 180×30 mm、厚み3mm |
こちらは、4～8インチウエハ吸着用のI型ベルヌーイハンドです。薄ウェハや反ウェハ用の搬送ハンドとなります。 製品厚みはハンド本体が2ｍｍ、ガイドを含めて総厚3mmとなります。噴き出し穴はΦ0.5、円周上での斜め穴加工を8箇所施しました。またウェハ保持用に8個の ガイドが付いており位置ずれ防止としております。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
