| 製品名称 | 12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®） |
|---|---|
| 業界 | 半導体 |
| 製品種類 |
ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） ベルヌーイハンド |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 外形350×220 mm、厚み2.5 mm |
こちらは、12インチ用のベルヌーイハンドです。
当社のマシニングセンターを使用して、ハンドの厚み2ｍｍ、ガイドを含めて総厚2.5mmで加工しています。噴き出し穴は3個あり、Φ0.5、30°、5.1ピッチでの斜め穴加工を施しました。3個1セットの噴き出し穴は、空路に沿って4カ所に配置しています。吸着穴は1カ所で、空洞部に通じるΦ5の穴を設けました。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。
半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
