| 製品名称 | 静電気拡散コート ウエハ搬送ハンド |
|---|---|
| 業界 | 半導体 |
| 製品種類 | ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド） |
| 材質 |
静電気拡散アルミナ 高純度アルミナ |
| サイズ | 外形223.01×69.85 mm、取り付け部の厚み4.5 mm、先端部の厚み2 mm |
こちらは、検査装置用のウエハ搬送ハンドです。 静電気・スパークによるウエハの傷・反りを極力防ぐため、材質はアルミナで、表面に静電気拡散性が高い静電気拡散コートを採用しております。当社のマシニングセンターを使用し、ウエハ保持部0.5 mmに対して、厚み4.5、M3、有効深さ6.1のザグリ穴を施しました。また、吸着ボートはΦ3深さ3.3で、面粗度Ra0.41に仕上げております。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。さらに、ブラックアルミナ・静電気拡散アルミナをはじめ、4Nを含む高純度アルミナ、高純度SiC、多孔質セラミックス、導電性セラミックス、耐熱性セラミックスなど様々なセラミックス材料を取り扱っております。製品用途・使用環境・要求される機能性に応じて最適なセラミックス材料をご提案させていただきます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
