搬送ハンド・多孔質チャックなどのファインセラミックス製品なら
特注製作事例
| 製品名称 | グラインダー装置用セラミックガイドベース |
|---|---|
| 業界 | バックグラインド工程 |
| 製品種類 | セラミックガイド |
| 材質 | 高純度アルミナ |
| サイズ | 外形1000×350 mm、厚み 35 mm |
| 精度 | 平面平行度 2 µm |
| 表面粗さ | Ra0.4 |
こちらは、グラインダー装置用セラミックガイドベースです。材質は、高純度アルミナを採用しております。サイズ1000×350×35 mmの製品について、平面平行度2 µm、表面粗さRa0.4の精度で加工を行いました。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなセラミックガイドのほか、搬送ハンド、ウエハートレイ、吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。バックグラインド工程向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
Φ330アルミナ空洞一体プレート
業界： 半導体,セラミックス焼成治具,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
材質： 高純度アルミナ
グラインダー装置用セラミックガイドベース
業界： バックグラインド工程
材質： 高純度アルミナ
ボンディング装置用セラミックステージ
業界： ボンディング工程
材質： 高純度アルミナ
UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック
業界： 半導体,ボンディング工程
材質： SiC（炭化ケイ素）
4～8インチウエハ吸着用 薄型1.2 mmロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
ボンディング装置用 Φ300セラミックスプレート
業界： ボンディング工程
材質： 高純度アルミナ
検査用 セラミックス製 精密定盤（400角）
業界： 検査工程
材質： 高純度アルミナ
検査用 セラミックス製 精密定盤（650角）
業界： 検査工程
材質： 高純度アルミナ
精密XYステージ用 セラミックス長尺部品
業界： ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
材質： 高純度アルミナ
4～6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
4～5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
半導体
導電性セラミックス製 突き上げピン（突き上げニードル）
業界： 半導体
材質： 導電性セラミックス
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
4インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
静電気拡散コート ウエハ搬送ハンド
業界： 半導体
材質： 静電気拡散アルミナ,高純度アルミナ
8インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴4ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴8ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
ロボット・装置
4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
洗浄装置向け ロボット用搬送ハンド
業界： ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
★NEW 両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： アルシーマL,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
業界： ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair）
業界： 半導体,ロボット・装置,産業機械
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®）高温仕様
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
4～5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
4～6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
4～8インチウエハ吸着用 薄型1.2 mmロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
UniZac-air® (ユニザックエア) 両面吸着ハンド（12インチ用）
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
光学機器
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®、根本取付け治具あり）
業界： 半導体,光学機器
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®）
業界： 半導体,光学機器
材質： 高純度アルミナ
ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品（アルシーマ）
業界： 光学機器,産業機械,大学・研究機関,その他
材質： アルシーマL
4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®）
業界： 半導体,光学機器
材質： 高純度アルミナ
★NEW 両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： アルシーマL,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®）高温仕様
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
セラミックス焼成治具
産業機械
SiC製 るつぼ（坩堝）
業界： セラミックス焼成治具,産業機械,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
超高純度アルミナ製 絶縁ピン（アルミナ4N）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 超高純度アルミナ（4N）
SiC製 円筒部品
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
多孔質SiCチャック（本体アルミナ）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
はんだ付け用アルシーマ治具
業界： 産業機械
材質： アルシーマL
ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品（アルシーマ）
業界： 光学機器,産業機械,大学・研究機関,その他
材質： アルシーマL
★NEW 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： ブラックアルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair）
業界： 半導体,ロボット・装置,産業機械
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
フィルム
超高純度アルミナ製 絶縁ピン（アルミナ4N）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 超高純度アルミナ（4N）
SiC製 円筒部品
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
多孔質SiCチャック（本体アルミナ）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
★NEW 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： ブラックアルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
大学・研究機関
SiC製 るつぼ（坩堝）
業界： セラミックス焼成治具,産業機械,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
超高純度アルミナ製 絶縁ピン（アルミナ4N）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 超高純度アルミナ（4N）
SiC製 円筒部品
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
多孔質SiCチャック（本体アルミナ）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品（アルシーマ）
業界： 光学機器,産業機械,大学・研究機関,その他
材質： アルシーマL
その他
ボンディング工程
精密XYステージ用 セラミックス長尺部品
業界： ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
材質： 高純度アルミナ
ボンディング装置用 Φ300セラミックスプレート
業界： ボンディング工程
材質： 高純度アルミナ
ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック
業界： 半導体,ボンディング工程
材質： SiC（炭化ケイ素）
ボンディング装置用セラミックステージ
業界： ボンディング工程
材質： 高純度アルミナ
Φ330アルミナ空洞一体プレート
業界： 半導体,セラミックス焼成治具,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
材質： 高純度アルミナ
検査工程
リソグラフィ工程
ウエハ搬送ハンド（ロボット吸着ハンド）
4インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
静電気拡散コート ウエハ搬送ハンド
業界： 半導体
材質： 静電気拡散アルミナ,高純度アルミナ
8インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴4ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴8ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®、長穴加工あり）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（PeriZac®、根本取付け治具あり）
業界： 半導体,光学機器
材質： 高純度アルミナ
ベルヌーイハンド
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴4ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴8ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド（吸着・ベルヌーイ一体型、厚み2.4t）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
ウェーハプローバ装置向け搬送ハンド（吸着・ベルヌーイ一体型）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： 高純度アルミナ
4～5インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
4～6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート
業界： 半導体,ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ
ウエハートレイ
焼成治具
その他
超高純度アルミナ製 絶縁ピン（アルミナ4N）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 超高純度アルミナ（4N）
導電性セラミックス製 突き上げピン（突き上げニードル）
業界： 半導体
材質： 導電性セラミックス
SiC製 円筒部品
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
高純度SiC製 プレート（SiC3N）
業界： その他
材質： 高純度SiC
はんだ付け用アルシーマ治具
業界： 産業機械
材質： アルシーマL
ヒーター発熱部の断熱セラミックス部品（アルシーマ）
業界： 光学機器,産業機械,大学・研究機関,その他
材質： アルシーマL
Φ330アルミナ空洞一体プレート
業界： 半導体,セラミックス焼成治具,ボンディング工程,検査工程,リソグラフィ工程
材質： 高純度アルミナ
多孔質チャック
多孔質SiCチャック（本体アルミナ）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
★NEW 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： ブラックアルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
★NEW 両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： アルシーマL,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
検査治具
セラミックスプレート
高純度SiC
アルシーマL
高純度アルミナ
多孔質SiCチャック（本体アルミナ）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
4インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
静電気拡散コート ウエハ搬送ハンド
業界： 半導体
材質： 静電気拡散アルミナ,高純度アルミナ
8インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ搬送用 トレイ式ハンド（UniZac-Obon®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴4ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®、噴き出し穴8ヵ所）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
12インチウエハ吸着用 ベルヌーイハンド（LeviZac®）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
8インチウエハ吸着用 ロボット搬送ハンド（UniZac-air®、長穴加工あり）
業界： 半導体
材質： 高純度アルミナ
SiC（炭化ケイ素）
SiC製 るつぼ（坩堝）
業界： セラミックス焼成治具,産業機械,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
SiC製 円筒部品
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： SiC（炭化ケイ素）
SiC製 焼成用セッター
業界： セラミックス焼成治具
材質： SiC（炭化ケイ素）
光導波路研究用 SiC製 ウエハートレイ
業界： 半導体
材質： SiC（炭化ケイ素）
ドライエッチング用 SiC製 ウエハートレイ（ザグリ穴タイプ）
業界： 半導体
材質： SiC（炭化ケイ素）
ボンディング装置用 4インチ用ピンチャック
業界： 半導体,ボンディング工程
材質： SiC（炭化ケイ素）
多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
多孔質SiCチャック（本体アルミナ）
業界： 産業機械,フィルム,大学・研究機関
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（本体A5052）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
多孔質フィルター
業界： 化学・素材
材質： 多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
★NEW 6インチウエハ吸着用 多孔質アルミナチャック（多孔質AZPV60、本体ブラックアルミナ）
業界： 半導体,産業機械,フィルム
材質： ブラックアルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
★NEW 両面吸着多孔質チャック（本体：アルシーマ、多孔質：表面AZP60、裏面AZPS40）
業界： 半導体,ロボット・装置,光学機器
材質： アルシーマL,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
センサー溝付き多孔質埋め込みハンド8インチ
業界： ロボット・装置
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
反りウエハ対応搬送ハンド多孔質埋め込みハンド12インチ（UniZac-Pair）
業界： 半導体,ロボット・装置,産業機械
材質： 高純度アルミナ,多孔質セラミックス（ポーラスセラミックス）
よくある質問
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寄せられるよくある質問
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