| Product Name | 4～8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド（LeviZac®薄型） |
|---|---|
| Industry |
Semiconductor Robots ・ Equipment Optical equipment |
| Product Type |
Wafer transfer vacuum End Effector / Handling Arm Bernoulli End Effector / Handling Arm |
| Material | High Purity Alumina |
| Size | 180×30 mm、厚み2mm |
こちらは、4～8インチウエハ吸着用の薄型のI型ベルヌーイハンドです。製品の厚みは、ハンド本体が1.5ｍｍ、ガイドを含めて総厚2mmとなります。薄ウェハや反ウェハ用の搬送ハンドです。 噴き出し穴は、Φ0.5、円周上での斜め穴加工を8箇所施しました。ウェハ保持用に、厚さ0.5mmの8個のガイドが付いています。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
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