| Product Name | 4～6インチウエハ対応薄型ベルヌーイハンド（LeviZac®）静電気拡散アルミナコート |
|---|---|
| Industry |
Semiconductor Robots ・ Equipment |
| Product Type |
Wafer transfer vacuum End Effector / Handling Arm Bernoulli End Effector / Handling Arm |
| Material | High Purity Alumina |
| Size | 外形228×70 mm、厚み2 mm |
こちらは、4～6インチウエハ用の薄型ベルヌーイハンドです。 従来は、2.5 mmのY型ベルヌーイハンドでしたが、こちらの製品は、総厚2 mmのY型形状を実現しました。さらに、空路内部に静電気拡散アルミナコートのADC膜をコーティングしているため、パーティクルの発生を抑制します。当社のマシニングセンターを使用して、ハンドの厚み1.5ｍｍ、ガイドを含めて総厚2 mmで加工しています。3個1セットの噴き出し穴は、斜め穴加工を施し、空路に沿って4カ所に配置しています。吸引ポートは1カ所で、空洞部に通じる貫通穴を設けました。4箇所のガイドでウエハを保持する形状です。 「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
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