| Product Name | 高耐熱性4～8インチウエハ吸着用 SiC搬送ハンド（UniZac-air®） |
|---|---|
| Industry |
Semiconductor Robots ・ Equipment アニール工程 エピタキシャル工程 CVD工程 洗浄工程 |
| Product Type | Wafer transfer vacuum End Effector / Handling Arm |
| Material | High Purity Silicon Carbide |
| Size | 外形158×74 mm、厚み1.9 mm |
こちらは、4～8インチウエハ吸着用 SiCロボット搬送ハンドです。ウエハ保持部の面粗度はRa0.8に仕上げてあります。吸着用の長穴は、空洞部に通じるザグリ穴で、幅13深さ1.35になります。
根本の取り付け穴と吸引ポートは、お客様ご希望のサイズ・位置に加工が可能です。
材質がSiCのため、耐熱性を必要とする工程（エッチャー・CVD・ALD・アニールなど）や耐薬品性を求める工程（洗浄工程）、導電性を求める工程（静電気対策）にて使用ができます。
「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、SiC原料の造粒、成形から、グリーン加工（生加工）、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。
本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。
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