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ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)

ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)|Ceramics Design Lab
ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)|Ceramics Design Lab
ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)|Ceramics Design Lab
ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)|Ceramics Design Lab
Product Name ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用I型ベルヌーイハンド(LeviZac®薄型)
Industry Semiconductor
Robots ・ Equipment
Optical equipment
Product Type Bernoulli End Effector / Handling Arm
Material High Purity Alumina
Size 180×30 mm、厚み約2mm

こちらは、ケガキ線付き4~8インチウエハ吸着用の薄型のI型ベルヌーイハンドです。製品の厚みは、ハンド本体が1.5mm、ガイドを含めて総厚約2mmとなります。薄ウエハや反ウエハ用の搬送ハンドです。 噴き出し穴は、Φ0.5、円周上での斜め穴加工を8箇所施しました。ウェハ保持用に、厚さ0.5mmの8個のガイドが付いています。4インチ、5インチ、6インチ、8インチのウエハを乗せるためのケガキ線を施した薄型のベルヌーイハンドです。

「セラミックスデザインラボ」を運営するアスザック株式会社では、アルミナ原料の調合、造粒、成形から、グリーン加工(生加工)、焼成、二次加工、検査・洗浄までを一貫して行っております。本製品のようなウエハ搬送用ハンドのほか、ウエハートレイや吸着チャック、焼成用セッターなどのセラミックス製品の製作実績が多数ございます。 半導体・電子部品向けのセラミックス製品の設計・製作なら、アスザックにお任せください。

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